中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9235078 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speedは、ウェーハ処理に使用されるエッチャー/アッシャーです。これは、LAM Etcher/AsherとNOVELLUS Asherの2つの異なるシステムの組み合わせです。本装置は、シングルウェーハ工程、平面化、薄膜成膜など、幅広いウェーハ加工ニーズに対応するよう設計されています。LAM Etcher/Asherは、精密なウェーハパターニング用に設計された高度なプラズマエッチングシステムです。デュアルステージのICPソース構成を使用して、非常に均一で効率的なエッチングプロセスを生成します。このユニットは、特許取得済みのMicrozone™エッチング機を使用して、最適な解像度で正確で高スループットエッチングを提供します。これは、プロセス結果の均一性を確保するのに役立ち、すべての基板にわたってエッチングパラメータを制御するために設計されています。エッチングチャンバーは信頼性が高く、幅広いウェーハ加工ニーズに対応できます。NOVELLUS Speed Asherは、LAM Etcher/Asherと組み合わせて使用できる高度なアッシャーツールです。これは、可能な限り最速のサイクル時間で正確で均一なウェーハ熱処理を提供するように設計されています。highLAM RESEARCH Speed gaseous ashingプロセスは、ウェーハ上に二酸化ケイ素の薄膜を堆積させるために使用されます。このアセットは、パッシベーション、平面化、メタライゼーションなど、幅広いウェーハ用途に迅速かつ正確なウェーハ熱処理を提供します。アッシャーは、はんだリフロー前の表面洗浄やウェーハ表面の洗浄にも使用できます。LAM Etcher/AsherとSpeed Asherを組み合わせることで、信頼性の高い生産性の高いウェーハ処理モデルを研究および生産に提供します。この装置は、LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed Asherによって提供される高速サイクルタイムで、高いスループット、正確なプロセス結果、およびプロセスの均一性を提供します。高度で使いやすい制御システムは、迅速かつ一貫した結果を保証し、ユーザーがプロセスパラメータを素早く設定して最適化するのに役立ちます。LAMNOVELLUS Speed Asherは、さまざまなアプリケーションでウェーハを処理するための信頼性と費用対効果の高い方法です。