中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9178461 を販売中

LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed
ID: 9178461
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
CVD System, 12" Process: Pe oxide 2005 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Speedは、エッチングとアッシングプロセスを必要とする業界にとって不可欠なツールです。このマシンは、業界をリードするパフォーマンスを提供するために非常に高速で動作する先進的で最先端の機器です。NOVELLUS Speedは、ケミカルエッチングとアッシングを利用した高精度のケミカルエッチャー/アッシャーで、表面に高純度のマイクロメータサイズのフィーチャーを作成します。精度と解像度を最大2ミクロンまで高めることができます。エッチングとアッシングのプロセスには、エッチャーとアッシャーという2つの独立したシステムが含まれます。エッチャーは、材料を層ごとに除去するために、100cm/min以上の速度で基板に化学溶液を露出させます。このプロセスにより、さまざまな機能を簡単に作成できます。アッシャーは表面に化学溶液を噴霧し、微粒子の均一な層を作り出します。このプロセスは非常に効率的で正確で、エラーのない製品になります。LAM RESEARCH Speedは、高性能で柔軟性に優れた設計です。これは、エッチャーとアッシャーの両方の優れた調整と最適化のための強力なユーザーフレンドリーなコンピュータ制御機器を備えています。ユーザーは簡単かつ迅速にシステムを設定、実行、プログラム、および維持することができます。それは異なった基質のサイズおよび構成を収容する機能のさまざまなプロセスおよび材料の条件のために適しています。緊急時のオーバーライドスイッチ、クローズドループガスコントロールユニット、静電気防止機、不活性ガス供給機、強力な真空ツール、高度な火災抑制および警報機能など、最新の安全装置が装備されています。さらに、機械は非常に耐久性があり、メンテナンスを最小限に抑える必要があります。すべてにおいて、Speedはエッチングとアッシングプロセスを必要とする業界にとって貴重なツールです。その迅速かつ正確な操作は、あらゆる生産ニーズに対応する理想的な選択肢です。その利便性、正確性、信頼性により、エッチングおよびアッシングプロセスの基礎となります。
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