中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #293819068 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speedは、半導体製造のエッチング、成膜、クリーン工程に使用されるエッチャー/アッシャーで、先端技術に最適な機能を備えています。半導体製造における反応イオンエッチング、化学蒸着、大気圧ドライエッチング、デカップリングプラズマエッチング、クリーンプロセスのための高度なツールです。NOVELLUS Speedは、2次元の並列処理を利用して、スループットを高め、エッチングと蒸着プロセスでより高い精度と歩留まりでLAM RESEARCH Speedを処理します。このツールは、将来の技術の進歩に対応するために拡張可能であり、ユーザーは競争力のある生産速度を維持するためにハードウェアをすばやく交換することができます。Speedは、最先端の製剤技術を統合し、汚染物質を発生させることなく、装置を通じて粒子の輸送を安全かつ正確に制御します。この技術により、エッチングおよび蒸着プロセスに必要な微粒子を、有害な排出物を生成したり、低スルーグプット歩留まりの副産物を生成することなく輸送することができます。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speedは、エッチングおよび蒸着プロセスパラメータを制御する際にステップバイステップの精度を保証する高度なソフトウェアコントロールユニットを備えています。このソフトウェア駆動型マシンを使用すると、ユーザーはカスタマイズされたプロセスを作成して、異なる基材およびプロセスの特定の性能と品質要件を満たすことができます。NOVELLUS Speedには、ウェットベンチ操作を単一の真空ツールに統合する機能もあり、ウェットベンチ処理を追加する必要がなくなり、ウェットベンチと主要資産の間のプロセス情報の転送が容易になります。この能力により、エッチングおよび蒸着プロセスのより効率的で費用対効果の高い実行が容易になります。全体として、LAM RESEARCH Speedは、スループット向上のための2次元並列性、粒子輸送を制御する最先端の製剤技術、およびカスタマイズされたプロセス作成のためのソフトウェア制御モデルにより、高度なプロセス技術に適した高度なエッチャー/アッシャーです。また、ウェットベンチ操作を機器に統合する機能も備えているため、より効率的で費用対効果が高くなります。