中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 2 Speed #9293846 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 2 Speedは、産業用途向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。半導体ウェーハの高速、正確、再現性の高いエッチングとアッシングを実現するために設計された完全自動化された装置です。高度なソフトウェアコントロールを組み込んで、すべてのプロセスステップを正確に制御します。このシステムは、処理チャンバと、広範囲の電流液体またはガスを持つウエハの前処理、処理、後処理のためのウエハハンドリングユニットで構成されています。それは銅、アルミニウムまたは他の金属合金のエッチングおよびashingプロセスに使用することができます。NOVELLUS Concept 2 Speedは、表面平坦度が平均0。5 µmで直径12インチ（304。8mm）までのウェーハを処理することができます。ウェーハハンドリングマシンは、トランスファーチャンバー、ウェーハジャケット、カセットリフトで構成されています。トランスファーチャンバーには、チャンバーの屋根に取り付けられたRFジェネレータと、プロセスウエハの物理的な分離を行う銅マニホールドが供給されます。さらに、LAM RESEARCH Concept 2 Speedは、ウェハクリーニングプロセスを改善するために設計されたプラズマクリーニングツールを備えています。これは、2つのRFジェネレータ、スパッタリング成膜用の上部1とRFエッチング用の下部1を装備しています。2つのターボポンプの助けを借りて、プラズマクリーニングアセットは、上部圧力を長期間静的に保ちます。Concept 2 Speedはコントローラも備えており、正確なプロセス制御に不可欠な要素です。それは正確なタイミング、温度、圧力、流れおよび電圧制御を含んでいます、均一および精密な結果を保障します。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 2 Speedは、複雑で正確な操作制御を提供し、プロセスチャンバーのパラメータを明確に表示するための優れたディスプレイパネルを提供します。さらに、複数のウエハを同時に処理できるように、強力なソフトウェア制御スキャナを搭載しています。それは3つの異なるレシピを格納する能力を持っています、それぞれまで256ステップ。これにより、生産の複雑さと時間の節約が可能になります。最終的な成果は、1つのソフトウェアプラットフォームによって一貫して安全で繰り返し可能なプロセス制御です。