中古 LAM RESEARCH / DRYTEK Quad #9038448 を販売中

LAM RESEARCH/DRYTEK Quadは、薄膜成膜およびフォトリソグラフィ加工に使用される最先端のエッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは4つのチャンバーで構成され、それぞれ独立したプラズマ源を備えています。チャンバーは並行して動作し、複数のフィルムの同時エッチングおよび/またはアッシングを可能にします。このプロセスは、薄膜成膜に最適であり、光学微細構造の製造に基づくフォトリソグラフィの将来の進歩を可能にします。最初のチャンバーは、主に酸素ベースのエッチングに使用されます。それはステンレス鋼の陰極および水晶陽極から成っています。陰極はプロセスを制御するために前部パネルから管理することができる調節可能なDC電圧によって動力を与えられます。RFジェネレータは、酸素が豊富なプラズマを生成し、均一なエッチング速度を確保する機能を持つ水晶アノードに電力を供給します。2番目と3番目のチャンバーは両方ともアッシングに使用されますが、3番目のチャンバーは調整可能な陰極も備えています。3番目と4番目のチャンバーは同様に、マスフローコントローラを使用して密閉プラズマに注入される炭素源を特徴としています。4番目のチャンバーはエッチング用に設計されており、さらにプロセス中に石英シュラウドを提供します。これにより、ユニット全体が非常に安全になり、他のチャンバーとの接続性と互換性が促進されます。また、プログラマブルロジックコントローラ（PLC）を備えており、各チャンバで使用されるガスのイオンエネルギーと流量を調整するために使用されます。これにより、オプトエレクトロニクス用途に不可欠なエッチングおよびアッシングプロセスを正確に制御できます。最後に、このツールは完全にコンピュータ制御されており、詳細なレシピベースの自動化を可能にします。これにより、より高いレベルの再現性と、各操作をリアルタイムで監視する機能が可能になります。結論として、DRYTEK Quadは汎用性と強力なエッチャーとアッシャー資産です。その先進的な機能により、薄膜成膜やフォトリソグラフィ加工に最適なツールです。PLCの柔軟性と調整可能なカソードと石英シュラウドによって提供される正確な制御を組み合わせることで、このモデルはあらゆる光電子実験室で貴重な資産となります。