中古品 LAM RESEARCH / DRYTEK (エッチャー/アッシャー) を販売中
LAM RESEARCH/DRYTEKは、半導体製造、MEMS製造、研究室など、さまざまな業界で使用されるエッチャー/アッシャーの評判の良いメーカーです。これらのシステムは高度なアナログ、多数の利点を提供し、384T、 DRIE-100、 MS-6などのさまざまなモデルがあります。LAM RESEARCH/DRYTEKエッチャー/アッシャーは、基板の精密かつ均一なエッチングを可能にする最先端の技術を備えています。プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ディープリアクティブイオンエッチング(DRIE)など、さまざまなプロセスを利用して、さまざまなアプリケーション要件に対応しています。LAM RESEARCH/DRYTEKが提供するアナログは、優れた性能と信頼性で知られています。これらのエッチャー/アッシャーの主な利点の1つは、その汎用性です。シリコン、化合物半導体、誘電体、金属など様々な材料を加工することができます。また、ユーザーのニーズに応じて、等方性と異方性の両方のエッチングを実行することができます。さらに、高度なプロセス制御機能により、再現性と一貫した結果が保証されます。LAM RESEARCH/DRYTEK etcher/Asherモデルのいくつかの注目すべき例には、高スループットのアプリケーションに最適な384Tと、精密なプロファイル制御を備えたディープシリコンエッチング用に特別に設計されたDRIE-100があります。一方、MS-6モデルは、RIEとPECVDの両方のプロセスを単一のチャンバーで実行する柔軟性と能力で有名です。要するに、LAM RESEARCH/DRYTEK etchers/ashersは、半導体およびMEMS業界の多様なエッチング要件に対応するための高度なアナログ、さまざまな利点、および幅広いモデルを提供するトップオブラインのシステムです。
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