中古 LAM RESEARCH / DRYTEK DRIE-100 #82998 を販売中

LAM RESEARCH/DRYTEK DRIE-100は、最新の半導体デバイス処理の要求に応えるために開発された高精度エッチャー/アッシャーです。DRYTEK DRIE-100は精度と信頼性のために構築されており、幅広いデバイスのニーズに最適です。金属やポリマーから誘電体まで、さまざまな材料を切断することができます。LAM RESEARCH DRIE-100は、多くのデバイスメーカーや研究室にとって便利な機能を備えています。装置は複数のプロセスゾーンで設計されており、一貫した温度とエッチングの均一な深さを可能にします。また、様々なウェーハホルダーとプログラマブルプロセスコントロールを備えているため、すべてのプロセスパラメータを正確に制御することができます。DRIE-100は、さまざまなエッチングガスや周波数チューニングされたRF電波源とも互換性があり、敏感な材料への損傷を制限することができます。エッチングチャンバー内で均一な電位を維持する誘導板により、システムの精度がさらに向上します。安全性と品質保証の観点から、LAM RESEARCH/DRYTEK DRIE-100には必要なすべてのシステムが装備されています。統合された真空ユニットにより、ほこり、破片、液体汚染物質が機械から遠ざかり、汚染のリスクを防ぎます。高速カメラおよび光学センサは、エッチング中にリアルタイムのフィードバックを提供し、リアルタイムおよびエンドエンドの結果でプロセスパラメータを調整することが容易に評価することができます。DRYTEK DRIE-100は、その品質と有効性を証明する、多くの施設で徹底的にテストされています。その精度、均一性、信頼性により、多くのデバイス処理ニーズに最適です。使いやすく、メンテナンスも簡単で、洗練された設計により、高品質のマイクロおよびナノデバイスを迅速かつ効率的に作成できます。LAM RESEARCH DRIE-100は、幅広い機能を備えており、研究環境と産業環境の両方に最適です。