中古 LAM RESEARCH / DRYTEK DRIE-100 #293645358 を販売中

LAM RESEARCH/DRYTEK DRIE-100は、半導体業界で使用するために設計されたエッチャー/アッシャーで、シングルウェーハおよびバッチプロセス用の高度なエッチングおよびアッシング機能を提供します。この装置は、大きな陰極面積と高圧高パルス放電機能を備えており、高いエッチング率の一貫性、エッチング深度制御、および要求の厳しい高温および研磨材料の機械冷却を提供します。パワフルな発電機と電源により、エッチングパラメータを高精度かつ柔軟に調整できます。DRYTEK DRIE-100は、高度な反応性イオンエッチングおよびアッシング技術を採用しており、基板への損傷を最小限に抑えながら、材料を極めて小さな深さにエッチングおよびアッシングすることができます。オンボードガス搬送ユニットも付属しており、再現可能なフローとレシピベースの化学制御を提供します。さらに、高度な2次元ジェットフローパターニング技術、高精度の現場エンドポイント制御、包括的なプロセスモニタリング、自動化されたウェーハ基板レベルの真空、およびチャンバーの真空を監視および制御する機能を備えています。LAM RESEARCH DRIE-100には、内蔵圧力レギュレーション、エアロック付きオペレータアクセスドア、排気濾過、洗練された漏れ検出など、多くの高度な安全機能が含まれています。この機械は、健康と安全のためのUL、 CE、およびSiaCG規格にも認定されています。全体として、DRIE-100は高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーツールで、優れたパフォーマンスとプロセスの柔軟性を提供します。その複数の安全機能により、多種多様な半導体プロセスでの使用に適しています。アセットの調整可能なエッチングパラメータは、精密な制御を可能にし、特殊なエッチングおよびアッシング要件に最適です。