中古 LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #9384902 を販売中

LAM RESEARCH/DRYTEK 384T Etcher/Asherは、半導体業界で金属やシリコンなどの硬質材料のエッチングおよびアッシングに使用される高性能で高生産性の装置です。このシステムは、最適なデバイス性能の生産に必要な信頼性の高い再現性のあるプロセスのために設計されています。DRYTEK 384Tは、高束束の熱処理とプラズマエッチング処理を組み合わせ、望ましいデバイス特性を実現するシングルウェーハエッチング装置です。このマシンは、他のシステムの最大5倍の速度でエッチングとアッシングを行うことができ、スループットの向上とコスト効率の向上を可能にします。チャンバーは効率的な放熱のために設計されており、断熱、熱負荷管理、プロセスシーリング技術の組み合わせを使用しています。このツールはまた、さまざまな形状の幅広い材料をエッチングすることができるため、幅広い半導体アプリケーションに適しています。LAM RESEARCH 384T資産には、最適な安全性と環境性能を確保するために、オゾンスクラバー、酸素スクラバー、窒素スクラバー、in-situガスモニターなどの多くの安全機能が装備されています。また、高度な圧力制御装置、現場時間と温度ログ、自動シャットオフシステム、オートスタート機能、フローコントロールユニット、レシピベースの制御機など、さまざまな高度な制御機能を備えています。この高度な機能の組み合わせにより、プロセス制御と最適化が強化され、このツールはさまざまな生産要件に適しています。さらに、384Tは非常にエネルギー効率が高く、他の同等のシステムよりも最大25％少ないエネルギーを利用して、運用コストと環境への影響を大幅に削減します。全体として、LAM RESEARCH/DRYTEK 384T Etcher/Asherは、半導体デバイスの製造に適した堅牢で高性能なソリューションであり、スループット、カスタマイズされたプロセス制御、エネルギー効率を提供します。