中古 LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #85389 を販売中

LAM RESEARCH/DRYTEK 384Tは、再現性に優れた高品質のエッチング結果を生成する半導体加工のために設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。エッチング、アッシング、クリーニングなどのプロセスを迅速かつ確実に実行するとともに、堅牢なプロセス制御、安全性、信頼性を提供する自動装置を備えています。DRYTEK 384Tのステンレス製のチャンバーは、絶縁バルブで密閉されているため、汚染のリスクがありません。このシステムには、正確なプロセス制御を提供する高度なデジタルコントローラ、直感的なグラフィカルプロセスレシピエディタ、フルデジタルプロセス監視機能が装備されています。自動化されたプロセスは、最大176 μ m/minのドライエッチング速度と最大20 nmの厚さの疎水層を備えたボードレベルのデバイスを確実に管理します。このユニットは、有害物質や臭いを排除するための包括的な排気ユニットを備えており、職場にとってより安全な選択肢となっています。さらに、LAM RESEARCH 384Tには、プログラミングと監視のための強力なソフトウェアスイートが付属しており、プロセスパラメータに関するリアルタイムデータとチャンバメンテナンスの可視性、および使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。バイアス、アーク点火、補償手順はすべてソフトウェア内の正確な制御で行うことができ、プロジェクトの正確な要件を満たすためにカスタムプロセスレシピを作成できます。ホットプレートや特殊ガス混合システムなど、ユニットの機能をさらに拡張するために様々なアクセサリーが用意されているため、正確なアプリケーションに合わせて機械を調整することができます。384Tは、半導体デバイスのクリーンで効率的な生産に理想的なエッチャー/アッシャーです。