中古 LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #293799890 を販売中

ID: 293799890
Triode plasma etch system.
LAM RESEARCH/DRYTEK 384Tは、超高速度成膜、高精度エッチング、および高度なハンドリング機能を組み合わせた高度なエッチングおよびアッシング装置です。このエッチングシステムは、幅6インチ(152。4mm)、厚さ8インチ(203。2mm)までの材料をエッチング、アッシャー、および堆積するように設計されています。可視性に優れた大型プロセスチャンバーを備えており、幅広いエッチングおよびアッシング用途に最適です。DRYTEK 384Tには、高精度のアップダウンドライブマシン、デュアルビュー光学顕微鏡、赤外線またはヘリウムイオン源、真空蒸着源が含まれています。デジタル読み出し機能と自動傾斜機能を搭載し、エッチングやアッシングにおいて最高水準の精密加工が可能です。ドライブツールのデジタル読み出しにより、部品の位置が自動的に調整され、精度と再現性が保証されます。さらに、アセットの熱補償機能により、正確なエッチングとアッシングの結果が保証されます。このモデルは、高度な電子アッシングとエッチング機能を備えています。LAM RESEARCHでは、多くのエッチングおよびアッシング用途で使用される無電解処理を超高成膜率で384Tしています。この高い蒸着率により、複雑な形状の断片であっても精密なエッチングとアッシングの結果が得られます。装置の大きい部屋は全体のエッチングおよびashingプロセス中の均等性を保障します。384Tはまた、優れた安全機能を提供しています。密閉された安全性を高めたキャビネットは、エッチングおよびアッシングプロセス中に生成される危険なガス、蒸気、およびガスから人員や機器を保護します。このシステムには、インライン温度コントローラ、温度インターロックおよびフローインターロックシステム、および安全性を向上させるための強制空気大気も装備されています。LAM RESEARCH/DRYTEK 384Tは、幅広い用途に最適な高度なエッチングおよびアッシングユニットです。高精度のエッチングおよびアッシング機能、優れた安全機能、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、あらゆるエッチングおよびアッシングのニーズに最適です。このマシンを使用すると、ユーザーは自信を持って正確なエッチングとアッシングの結果を達成することができます。
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