中古 ULVAC V8-100LC #9373098 を販売中

製造業者
ULVAC
モデル
V8-100LC
ID: 9373098
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2001
Vertical furnace, 6" Process: D-Poly Gases: N2, SiH4, Ph3, ClF3 Temperature: 800°C Pressure: 130 Pa Speed: 100 mm/min (120) Wafer sheets 2001 vintage.
ULVAC V8-100LCは半導体産業のための専門のアニーリング、拡散およびろう付けの適用のために設計されている多目的な拡散の炉及び付属品装置です。この拡散炉&アクセサリーシステムには、直径100mmの計算チューブを備えた8 インチID炉、および温度測定、温度制御、断熱システムが含まれています。このユニットの特徴は、炉内の反応槽の温度変化に応じてイオン化ガス流量を自動調整する自動フロー制御機構です。この炉機械はまた再現性および正確さのためのプロセス変数の温度調整そして精密な調整を最適化するデジタルPIDの温度調節器を特色にします。さらに、この拡散炉には様々な絶縁技術と高真空プレス技術が組み込まれており、拡散材やアニール材の効率を最大限に高めています。安全性に関しては、V8-100LC拡散炉は、過熱または過圧条件の場合に自動的に炉の電源を遮断する自動緊急遮断ツールを備えています。この資産には、複数のセンサーと警告アラームが装備されているため、オペレーターは常に潜在的な問題を認識できます。ULVAC V8-100LC拡散炉&アクセサリーモデルは、断熱損失が少ないため、性能を犠牲にすることなく、さまざまな用途で使用することができます。このタイプの低い熱損失は使用される絶縁材の組合せおよび炉アセンブリの有効な設計によって得られます。また、低熱損失により運転時のエネルギー効率が向上します。V8-100LC拡散炉および付属装置はまた容易な整備および維持のために設計されています。例えば、フィルターはすばやく変更してチェックすることができ、炉の本体は簡単にアクセスしてメンテナンスするためにセクションに分解することができます。また、断熱損失が少ないため、耐振動性に優れており、再現性の高いプロセスでも信頼性の高い結果が得られます。ULVAC V8-100LCは、半導体産業の用途に最適な拡散炉とアクセサリユニットです。これは、正確な温度制御とレギュレーション、幅広い安全機能、および最高の性能効率のための低い断熱損失を提供します。多目的な設計および容易な維持によって、この拡散の炉&付属品機械はそれをいろいろアニーリングおよび拡散の適用にとって理想的にさせます。
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