中古品 ULVAC (拡散炉＆付属品) を販売中

拡散炉は、酸化、拡散、アニーリングなどの様々なプロセスに使用される半導体業界で使用される高温炉です。それは望ましい物質的な特性を達成するためにプロセス管を通して均等にガスか蒸気を分配することによって働きます。真空システムおよび装置の有名な製造業者であるULVACは半導体産業のニーズに応える拡散炉および付属品の範囲を提供します。アルバックの拡散炉は、精密で均一な温度制御を提供するように設計されており、一貫した信頼性の高いプロセス結果をもたらします。これらの炉は、優れた熱安定性、低消費電力、低粒子生成で知られています。また、高度なオートメーションとユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、操作が便利です。アルバックは、Rise 300、 V8-100、 V10-100LCなど、さまざまな拡散炉モデルを提供しており、さまざまな生産要件に合わせて複数のオプションを提供しています。これらのモデルには、異なるチューブサイズ、温度範囲、およびプロセス機能が付属しています。Rise 300は、小規模生産、研究、開発に最適なバッチ式拡散炉です。V8-100モデルは、シングルウエハとバッチ処理の両方に適した垂直拡散炉で、高いスループットと優れたプロセス柔軟性を提供します。V10-100LCは大量生産のために設計されたより大きいシステムで、マルチステップコントロールやレシピストレージなどの高度な機能を備えています。アルバックの拡散炉やアクセサリーは、精度、信頼性、生産性向上の特徴から半導体業界で高い評価を受けています。これらのシステムにより、半導体メーカーは高品質で一貫した結果を達成しながら、効率と歩留まりを最大限に高めることができます。