中古 ULVAC V8-100LC #9350448 を販売中
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ID: 9350448
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2009
Vertical furnaces, 6"
Process: Poly-Si
(2) Main body
Duct unit
(2) Doors
Control unit
Heater
Top cover
Pump rack
2009 vintage.
ULVAC V8-100LCは、高度なプロセスおよび材料工学のグローバルリーダーであるULVAC、 Inc。によって設計および製造された拡散炉および付属品装置です。シリコンウェーハやパターン基板など、さまざまな材料に高精度の拡散アニーリングを提供するために設計されたこのシステムは、最適な希土類合金の統合やその他の生産プロセスに到達するための理想的なシステムです。V8-100LCユニットは、ステンレス製の炉チャンバーで構成され、フローティングタイプの断熱構造を利用して、チャンバー全体の安定した温度分布と優れた断熱性を維持します。さらに、並列ツインショットガン式加熱機により、チャンバー全体で優れた加熱速度と均一性を実現し、迅速かつ均一な拡散アニーリングを可能にします。チャンバー内部には、拡散プロセスに最適なガス流量の構造も含まれています。このツールには、ヒートシールドとコントローラとソフトウェアが統合されたコントロールパネルが付属しています。設定可能なパラメータにより、炉と拡散プロセスの両方の温度、圧力、流量を正確に制御できます。統合されたコンピュータおよびソフトウェア資産を通じてさらに精密な制御が可能になり、複雑で洗練されたプロセス管理が可能になります。このモデルには、炉室への材料の安全な導入と取り外しのための独自のローディング装置が装備されています。ローディングシステムはまた、ユニットがローディング後に安全な圧力を維持するのに役立ちます。緊急時にも自動安全装置が搭載されており、炎の抑制や過温度保護などの機能を備えているため、オペレータは安全かつ安全に作業できます。このツールには、カスタマイズ可能なさまざまなオプション機能も含まれています。これには、異なる炉用のオプションのバーナー資産、強力な冷却ファン、およびオプションのスパッタリングおよびドーピングモデルが含まれます。装置の高度な自動化機能は、必要な材料の倉庫化と積載にさらに役立ちます。ULVACのV8-100LCシステムは産業および研究の目的のための材料の拡散のアニーリングのための顕著な解決を提供します。堅牢な設計と高度なオートメーション技術により、このユニットは効率的で正確な拡散アニーリングプロセスを可能にし、さまざまな生産および研究手順に最適です。
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