中古 ULVAC V8-100L #9373106 を販売中
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ID: 9373106
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1997
Vertical furnace, 6"
Process: Oxide
Gases: N2, O2, H2, N2O, HCl
1997 vintage.
ULVAC V8-100Lは、今日市場で入手可能な最も先進的な拡散炉の1つです。半導体デバイスの製造、分析、研究など、さまざまなアプリケーションを実行するように設計されています。それは成功した操作の長い歴史を持ち、そのアプリケーションニーズに合わせた多くの機能を備えています。V8-100Lは、最大1100ワットの累積動作が可能なシングルゾーンオーブンです。25〜1400°Cの広い動作温度範囲を有します。温度は、統合されたPID(比例積分微分)コントローラの助けを借りて、+/-5度以内に制御および監視することができます。小型のフットプリントに収まるコンパクトなデザインで、操作も簡単です。高密度アルミナ製の内側ライナーを内蔵し、最大限の効率を実現しています。この内部はさみ金はドロスを除去し、均一な熱配分を提供し、オーブンの有用な生命を拡張します。また、チタン/銅の発熱体を内側のライナーにカット溝で構成されています。この溝は、加熱素子とワーク間の熱伝達を最適化します。安全面では、ULVAC V8-100Lにはいくつかの保護機能が組み込まれています。この炉には複数のフェイルセーフシステムが装備されており、異常な温度や圧力が検出された場合にユニットをシャットダウンするセンサーを制限します。また、ガス遮断弁が内蔵されており、異常値を感知するたびにガスを遮断します。さらに、炉にはN2およびO2の可燃性検出システムがあり、これらの可燃物の危険なレベルを検出すると電源を遮断します。V8-100Lには、最適な結果を保証するためのいくつかのアクセサリーが付属しています。これらには、ガス制御用のガスラインマニホールドとレギュレータ、静止積載用の石英ボート、バッチ積載用の19リットルのベルジャーが含まれます。さらに、ULVAC V8-100Lは、RF対応のULVAC SB-1200はんだ付け、ULVACホワイトライトアクセラロメーター、汎用性の高いULVAC P5サンプルホルダーなど、多くのULVACブランドの周辺機器と互換性があります。全体的に、V8-100Lは効率的で精密な処理の需要を満たす高度で信頼性の高い拡散炉です。チタン/銅の発熱体、内蔵のガスシャットオフバルブ、および可燃性検出システムのような機能を備えたこのオーブンは、製造、分析、研究に至るまで、多くのアプリケーションに最適です。また、多くのULVACブランドの周辺機器で動作するのに十分な汎用性があります。
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