中古 ULVAC V8-100 #9412411 を販売中

ULVAC V8-100
製造業者
ULVAC
モデル
V8-100
ID: 9412411
ウェーハサイズ: 6"
Furnaces, 6" 1998-2000 vintage.
ULVAC V8-100は、高品質のフィルムを低コストで製造するために設計された拡散炉およびアクセサリーです。半導体製造、太陽光発電・光学製造に使用されています。V8-100の拡散プロセスは、基板に薄膜を塗布し、フィルムを焼成してからフィルムを硬化させて、基板から不純物を引き出し、フィルムの空隙に取り込む3段階のプロセスです。統合されたクールダウン機能は、フィルム品質の低下につながる熱ショックを防ぎます。ULVAC V8-100は、いくつかの異なる拡散プロセスを実行することができ、プロセスの柔軟な制御を可能にする豊富なパラメータを提供しています。これには、ガス流入、炉温度、ガス圧力の比率を制御することが含まれます。さらに、異なるサイズと厚さの基板を処理するための2つの動作モードを提供しています。V8-100はまたプロセス部屋を通して加熱された空気を均等に循環させる高性能の再循環の対流ファンが付属しています。この機能は、温度勾配を低減し、チャンバーと基板媒体全体の不均一な加熱を防止することに有益です。ULVAC V8-100は、加工時に基板チャンバの温度を検出する自動基板媒体温度測定機能も備えています。これにより、プロセスパラメータを調整して一貫した結果を生成できます。さらに、ダウンタイム通知システムがあり、プロセスサイクル中のダウンタイムをユーザーに通知し、プロセスの迅速な回復を可能にします。V8-100は堅牢で信頼性の高いシステムで、長時間の生産で高品質のフィルムをユーザーに提供するように設計されています。その低コストと柔軟性は、少ない労力と低コストで高品質のフィルムを生産するために探している人のための素晴らしい選択肢となります。さらに、統合されたクールダウンおよびダウンタイム通知機能と基板温度検出システムは、一貫した結果を保証し、運用コストを削減します。
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