中古 ULVAC V8-100 #9374733 を販売中

ULVAC V8-100拡散炉は、実験室環境で迅速かつ再現可能な拡散プロセスを提供するために使用される効率的で精密な装置です。これは、プロセスを正確に調整するために使用することができ、さまざまな機能やアクセサリーを持っています。V8-100用電源は、0-100Vからフィラメントや電極に電力を供給する整流DC電源です。チャンバーは、上部と下部から構成される2ピースの耐火グラファイトコート内真空チャンバーです。チャンバーは70mbarの容量を持つ真空ポンプに接続されています。ULVAC V8-100には、最大1200°Cの温度に達することができる発熱体があり、基本温度は20°Cです。拡散炉には、サンプル、ウェーハ、または基板ヒーターとともに、温度を制御するための熱電対の範囲もあります。高温はタングステンフィラメントを使用して生成され、温度は石英グリッドを使用して制御されます。拡散炉の内部の壁の周りの石英格子スパイラルは、真空チャンバー内の粒子に対するシールドとして機能します。V8-100には、ガス注入装置、不活性ガス供給、サンプル搬送システムなどのアクセサリーも多数あります。ガス注入ユニットは、真空チャンバー内の汚染物質の濃度を最小限に抑えるために、アルゴンなどの不活性ガスの連続的な流れを提供するように設計されています。不活性ガスの供給は異なったプロセスのための部屋に純粋なガスの源を提供するのに使用されています。サンプル搬送機は、サンプルを空気にさらすことなく、室内外に効率的に移動させるために使用されます。ULVAC V8-100には、炉の操作をプログラムするために使用できる統合制御ツールがあります。この資産は、分析と最適化のためにさまざまなフィードバック情報を提供しながら、すべてのプロセスを正確に制御および監視できるように設計されています。このモデルはまた、ユーザーが最大の効率のための設定とレシピを保存することができます。要するに、V8-100拡散炉は精密拡散プロセスのために実験室環境で使用することができる洗練された装置です。これは、高温に達することができます、また、最大の効率のための設定を最適化するのに役立つ機能やアクセサリーの範囲を提供しながら、。