中古 ULVAC V8-100 #9373074 を販売中
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ID: 9373074
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2008
Vertical furnaces, 6"
Process: Oxide
Gases: N2, O2, H2, HCL
2008 vintage.
ULVAC V8-100は拡散炉とその付属品です。この製品は、低圧と低熱負荷の組み合わせによって可能になった高品質の蒸気相アニーリング拡散のために設計されています。半導体、金属、セラミックス、ポリマーなど様々な材料の表面アニールに最適なツールです。V8-100は、870リットルのCVDチャンバーとスタッキングターンテーブル、ターボ分子真空ポンプからなる排気システム、および回転式ダイレクトドライブ機構で構成されています。ターンテーブルはサンプルの急速な積み下ろし、また均一な拡散のためのサンプルの高精度の位置のために設計されています。ターボ分子真空ポンプは、蒸気拡散を可能にするCVDチャンバー内の安定した低圧環境を保証します。回転式ダイレクトドライブ機構により、均一な拡散のための滑らかで連続的な動作と改善されたガスの流れを可能にします。ULVAC V8-100には、プロセスの自動化とリアルタイム監視を可能にする最先端の制御システムが装備されています。制御システムには、直感的なGUI、リアルタイムの圧力監視、自動レシピ、プロセスアラーム、プログラミングオプション、および安全性とフェイルセーフ機能が含まれます。また、製品は、迅速にアクセスし、カスタムプロセスを作成するために使用することができ、10までの異なるレシピを格納することができます。V8-100は、水平分割炉の設計、均一でないガス分配機構、および環境への不要な熱伝達を防ぐ高度な冷却システムを備えています。また、拡散炉の最高温度は約1400°Cで、多数の用途に最適なツールです。低熱負荷により、サンプルへの不要な熱衝撃を最小限に抑え、さまざまな物質の均一な拡散を保証します。ULVACのV8-100はユーザーフレンドリー、耐久および非常に有効であるように設計されています。精度、信頼性、精度について広くテストされており、通常メンテナンスフリーです。さらに、さまざまな業界やアプリケーションで安全に使用できる安全機能を備えています。全体として、V8-100は信頼性が高く効率的な拡散炉であり、優れた耐久性、品質、および性能のために設計された付属品です。
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