中古 ULVAC V8-100 #9350446 を販売中

ULVAC V8-100は拡散炉であり、最大8枚の100mmディスクを単体またはバッチでディンプルするように設計されています。最大動作温度は1120°Cで、焼きなまし、焼結、ろう付け用途に使用できます。V8-100炉は、内部環境を高真空圧下に保つ自動真空装置を搭載しています。これは、厳しいプロセス制御と再現性を可能にするために、炉内の一貫した環境を確保するのに役立ちます。また、キャビティレーザー測定システムを備えており、装置内部の正確な温度均一性を実現しています。この炉には、高度な温度制御装置であるHZCC （Horizoned Zoned Centralized Control）ユニットも装備されており、炉の中の任意の動作レベルで完全な温度制御と監視が可能です。ULVAC V8-100は、操作をより簡単かつスムーズにするように設計されたアクセサリーの配列も備えています。これらのアクセサリーには、ローダー/アンローダーツール、個別のコントローラーユニット、特別に設計された空気圧アセットが含まれます。ローダー/アンローダーモデルにより、オペレータは炉内および炉外に素早く安全に基板を移動させることができますが、空気圧装置は最適な拡散のために圧力レベルを最適化するのに役立ちます。これらの付属品に加えて、V8-100はまた異なった反応性ガスの使用によって拡散が速くそして正確に起こることを可能にする多数のガス注入システムと設計されています。また、ガス交換を可能にし、必要に応じて予熱ガスを再利用することで、完全なプロセス制御と再現性を実現します。ULVAC V8-100拡散炉は、最小限の熱適用でディスクを薄暗くする効率的で信頼性の高い方法を提供します。これは、拡散アプリケーションの配列のための機器の貴重な部分に追加する機能やアクセサリーの数を持っています。