中古 ULVAC Rise 300 #9297203 を販売中

ULVAC Rise 300は、イオン注入、急速熱処理、および先端デバイス技術のドーパント拡散に使用される多目的拡散炉および補助装置です。これは、最大3つの独立した不活性ガス源と急速な炉の避難のための真空装置を備えた垂直シリンダー型の石英チャンバーを備えています。さらに、炉は反応ポートを介してソース材料を認めることができ、反応室内への反応剤の大量輸送を可能にします。この炉は、回転対称のトリプルゾーン加熱配置を備えており、全体に均一な温度を提供し、0。2mの内部の正確な温度制御を可能にします。Rise 300は、さまざまな温度（1〜300°C）で多種多様な処理を可能にし、各ゾーンの寸法とプロセス雰囲気の調整を可能にするように設計されており、異なるプロセス要件に対応するためにシステムの適応を容易にします。ULVAC Rise 300には、10 μ m、 0。1°Cの解像度で温度プロファイルデータを取得できる高精度のデジタルデータ取得ユニットが搭載されています。組み込みソフトウェアスイートにより、加熱プロファイルとシーケンスを微調整できます。プロファイルデータは、後で分析するためにさまざまなデータ出力形式で保存することも、一般的に使用されるソフトウェアパッケージに送信することもできます。Rise 300シリーズには、温度ピロメーターとIRヒーターが内蔵されており、+/-3°Cの精度で温度とプロセス雰囲気を正確に制御できます。補助装置スタックには、電源回路、SiCボートアクチュエータ、排ガス分離ユニット、真空ポンプが含まれています。各コンポーネントは、事実上メンテナンスフリーで、優れた信頼性を提供するように特別に設計されています。機械はまた水および防塵で、部品の劣化の危険なしで断続的に作動させ、過酷な条件で貯えることができます。ULVAC Rise 300の配信パッケージは、ソフトウェア、ハードウェア、およびその他のコンポーネントの補完的なパッケージであり、ユーザーのエクスペリエンスを最適化し、デバイスの効率的な動作を保証します。包括的な文書化と使いやすさにより、幅広い研究および生産活動にとって魅力的な選択肢となります。