中古 ULVAC Rise 300 #293608971 を販売中

ULVAC Rise 300は、半導体および材料加工において比類のない性能を提供する最先端の拡散炉およびアクセサリです。拡散、アニーリング、エピタキシャル成長、酸化などの用途に最適です。Rise 300には、独立したコントローラを備えた4つのクォーツチャンバーが装備されており、柔軟性と冗長性を実現します。最高温度1240°CのULVAC Rise 300は、幅広い基板やプロセスに対応できます。Rise 300は、パフォーマンスと信頼性を大幅に向上させるために設計されたさまざまな機能を提供します。内蔵のセンサーとPIDコントローラにより、温度を正確かつ効率的に管理および維持できます。特許取得済みのWindShield装置は、2つの独立したガスラインと調整可能な迷路バッフルを提供し、作業室の均一な温度分布を確保します。これにより、粒子の侵食を防ぎ、最終的に温度勾配につながり、基板温度の均一性を高めます。ULVAC Rise 300には直感的なユーザーインターフェイスがあり、ユーザーはタッチパネルディスプレイからパラメータを設定および監視できます。また、プロセス制御を改善するための高度な制御機能や、ユーザーアクセス用のパスワード保護認証システムも含まれています。さらに、Rise 300にはサーマルドリフトを防ぐ冷却ユニットが内蔵されており、処理中の制御と精度を向上させます。ULVAC Rise 300には、パフォーマンスと安全性を最適化するためのいくつかのアクセサリーが装備されています。膨脹可能なフィルムシールが上および底ハウジングの気密シールを提供するのに使用されています、操作の間に部屋からのプロセスガスの漏出を防ぎます。この炉には、独立した電源と過熱監視機が装備されています。これにより、基板の早期加熱と電気部品の損傷を防ぎます。最後に、排気ラインとフィルターは、空気中の粒子による潜在的な問題を排除するために、きれいな排気塵が収集されることを保証します。Rise 300は信頼性が高く、頑丈でユーザーフレンドリーなツールで、さまざまなプロセスを優れた結果で実行できます。先進的な制御システムと直感的なユーザーインターフェイスを組み合わせたULVAC Rise 300は、先進的な半導体および材料加工に最適な機器です。