中古 SEMITHERM / SEMITOOL VTP 1500 #293760973 を販売中

SEMITHERM/SEMITOOL VTP 1500は、SEMITOOLの高品質な拡散炉とアクセサリパッケージです。SEMITOOL VTP 1500は、最高の効率と温度の均一性を実現するマルチゾーン個別温度制御を提供します。ゾーンバイゾーン温度コントローラは、ドーピングとプロセスの均一性のための正確な精度と再現性を提供します。その大容量チャンバーにより、SEMITHERM VTP1500は2インチから12インチまでの幅広いサイズのウェーハを処理できます。96ゾーン転送ロッドシステムを搭載したSEMITHERM/SEMITOOL VTP1500は、高速で均一なプロセス結果を得るための同時加熱および冷却が可能です。優れた温度均一性に加えて、VTP 1500は包括的な安全機能を提供します。それは問題になる前に潜在的な危険に警告して、人員の安全を保障するために作り付けの安全および警報システムを備えています。また、すべての気候で安定した温度測定を保証するために、温度線形照射回路を提供することができます。VTP1500はまた必要ならば漏出を検出し、部屋を密封できる真空の漏出検出システムを含んでいます。これにより、将来の問題がなくなり、安全な操作が保証されます。統合されたガスの流れ制御は精密なガスの流れプロセス調節を可能および容易にします。SEMITOOL VTP1500は、拡散、酸化、窒化、発熱などが可能な多機能デバイスです。その内部壁は1600°C。まで高温拡散プロセスを支えるためにモリブデン殺菌剤および絶縁体から成っています。SEMITHERM VTP 1500は、高温性能に加えて、他の拡散炉よりも最大90％少ないエネルギーを使用する電気発熱体で省エネルギーを実現するよう設計されています。これにより、優れた性能を犠牲にすることなく、小さな予算で動作することができます。SEMITHERM/SEMITOOL VTP 1500は、要求の厳しいアプリケーション向けの非常に効率的な拡散炉とアクセサリパッケージです。その優れた温度均一性と高度な安全システムは、あらゆるアプリケーションにとって貴重なツールです。