中古品 SEMITHERM / SEMITOOL (拡散炉＆付属品) を販売中

拡散炉は半導体製造において不可欠なツールであり、SEMITHERM/SEMITOOLは業界をリードするメーカーです。VTP 1500、 VTP 1500 LH、 VTP 1500Xなどの拡散炉は、シリコンウェーハに精密で均一な熱処理プロセスを提供するように設計されています。これらの拡散炉には高度なアクセサリーが装備されており、高度な制御と効率的な拡散操作を保証します。注目すべきアクセサリーのいくつかは、効率的な配信とプロセスガスの混合を可能にするガスパネルを含みます。プロセスを通して精密な温度のプロフィールを維持する温度調節器；そして優秀な熱均一性を提供する水晶管の炉。SEMITHERM/SEMITOOLの拡散炉にはいくつかの利点があります。これらの高度な温度制御システムは、正確な熱プロファイルを可能にし、一貫した信頼性の高い拡散プロセスを保証します。ガスパネルの正確なガス供給と混合機能により、均一なガスの流れと分布が保証され、ウェーハ全体で一貫したドーピングレベルが得られます。さらに、SEMITHERM/SEMITOOLの拡散炉は、高いスループットと低粒子生成で知られています。これにより、効率的な生産と汚染を最小限に抑え、優れたウェーハ品質と歩留まりを実現します。これらの拡散炉は、熱酸化、拡散、アニーリング、化学蒸着など、さまざまな半導体製造プロセスに応用されています。SEMITHERM/SEMITOOLの拡散炉とアクセサリーは、研究室や大規模な生産施設で使用されるかどうかにかかわらず、半導体の熱処理プロセスに信頼性の高い先進的なソリューションを提供します。