中古 SEMITHERM / SEMITOOL VTP 1500 LH #9025672 を販売中
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ID: 9025672
LPCVD Reactor furnace
Control unit
Manual
Facility requirements:
Furnace: 150 Amps
Vacuum pump: 150 Amps
Nominal voltage: +/- 15%
Nominal frequency: +/- 5%
Exhaust:
Furnace cabinet exhaust: 10" Duct
Minimum pressure: (-.5 in) at 900 CFM
Gas cabinet: 6" Duct
Minimum pressure: (-.5 in.) at 250 CFM
Process chamber:
1/2" Swagelock:
Minimum pressure: (-.5 in.) at < 1 CFM
3/4" Swagelock
Minimum pressure: (-.5 in.) at 5 CFM
Vacuum:
Wafer handling: 1/4" Swagelock - 24" HG static
Cooling water:
Cannister and baseplate:
1/2" Swagelock - 2 GPM at 20 psi inlet to outlet differential pressure
Maximum differential pressure: 40 PSI
Maximum inlet pressure:100 PSI
Swagelock return line, 1/2"
Drains:
Acid drain (Optional on wet ox)
Teflon tubing: 1/2"
Clean dry compressed air:
1/2" Swagelock - 80 PSI Minimum
5 CFM: Typical
20 CFM: Peak (100 PSI Max)
5 CFM Used for pneumatic control
15 CFM Used for element / Jar movement
Nitrogen - non process:
1/2" Swagelock - 80 PSI Minimum
5 CFM: Typical
30 CFM: Peak (100 PSI Max)
5 CFM: Baseplate (Used at high temp only)
25 CFM: Furnace filter (Used only when filter or fan fails)
30 CFM: Non-process nitrogen
Power supply: 208 V, 3-Phase, 60/60 Hz, 150 A.
SEMITHERM/SEMITOOL VTP 1500 LHは、小型部品用の低炉設計と大型部品用の大型炉設計を備えた拡散炉です。半導体ウェーハの量産に最適です。拡散炉は複数のゾーン温度制御で設計されており、熱処理を正確に制御できます。温度センサを内蔵しており、各ゾーン内で高い精度と再現性を実現しています。また、低温浸漬機能と高度な炉プログラミングを備えており、どちらも最適な炉制御を提供します。さらに、SEMITOOL VTP 1500 LHには、ユーザーの利便性を向上させるためのいくつかのアクセサリが含まれています。負荷操作は、炉内の部品を迅速かつ安全に移動するために使用することができ、付属の連結および手動リフトシステムで簡単に行われます。水平対流ファンは、炉を通して適切な空気循環と均一な加熱を確保するのに役立ちます。また、自動ファンシャッターユニット、モーションコントロールベルマシン、lehr、その他のアクセサリーを追加して精度を高めることもできます。この耐久性と信頼性の高い拡散炉は、圧力ツール、二重壁チャンバー配管、および頑丈なドアヒンジなど、いくつかの安全機能を提供します。アセットは最大1400°Cの動作温度を持ち、その発熱体は極端な温度に耐えることができる高度な合金でできています。最新のコントロールパネルにより、ユーザーは炉の設定と操作のすべてを正確に管理できます。全体として、SEMITHERM VTP 1500LHは、大規模な半導体製造に最適な高度な拡散炉です。複数のゾーン温度制御、内蔵温度センサ、低温浸漬機能により、比類のない精度と再現性を実現しています。このモデルには、関節式および手動式リフトシステム、自動ファンシャッター装置、lehrなど、いくつかのユーザーフレンドリーな機能もあります。最後に、その高品質の発熱体と安全機能により、VTP 1500LHは信頼性が高く、長持ちする拡散炉になります。
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