中古 GT SOLAR 1001057 #9236065 を販売中

GT SOLAR 1001057は連続的な生産プロセスの精密で、反復可能な結果を作成するのに使用される拡散炉および付属品です。それは高いスルーパットの製造業の適用のために設計されている低温、縦の壁の炉です。1001057炉は、望ましい結果を出すために、異なるガス、温度、圧力の組み合わせを使用して、化学酸素需要（COD）のある半導体ウェーハに固体材料を堆積させます。これらの材料は、集積回路やトランジスタの製造に使用されます。GT SOLAR 1001057には、プラズマ密度モニター、均一な大気制御のためのアニール可能なガス装置（AGS）、 2台と4台のステーションセンサー、および完全なプロセス制御を可能にするPro-Runソフトウェアコントローラが含まれています。このシステムは、湿式および乾式の両方のプロセスを動作させることができ、拡散プロセス全体にわたってウェーハの高温サーマルプロファイリングを提供します。1001057はまた炉のロードロック部屋および他の多くの付属品を含んでいます。ロードロックチャンバーは均一性と再現性を向上させ、アニール可能なガスユニット（AGS）は拡散プロセスの雰囲気を制御するために使用されます。さらに、Pro-Runソフトウェアは、自動監視とリアルタイムのデータ分析を可能にします。プロセスの品質を確保するために、機械はリアルタイムのウェハーマッピング技術を組み込み、拡散プロセスの正確な温度とドーピング条件を監視することができます。GT SOLAR 1001057は、ウェーハ全体の均一性と正確な再現性を提供します。様々なサイズのウエハを最大4本までメンテナンス可能です。窒素酸化物、窒素、アルゴンなど様々なガスで動作するため、多種多様なガスや物質化学に適しています。このツールはまた、50〜1000°Cの精密な温度プロファイリングを可能にし、最大ランプレートは200°C/分で、自動チューニングおよびオートスケーリング機能に起因する再現性を備えています。全体として1001057アセットは、高い精度と再現性を必要とする連続生産プロセスに最適な機械です。コンポーネントの組み合わせにより、均一で予測可能な結果が得られます。幅広い機能を備えており、迅速かつ効率的に品質拡散結果を達成する必要がある場合に理想的な選択肢です。