中古 GT SOLAR 1001057 #9236068 を販売中

GT SOLAR 1001057は、幅広い基板に最高品質の熱処理を提供するように設計されたGT SOLARの拡散炉およびアクセサリーです。この信頼性、効率、費用対効果の高い拡散ソリューションは、マイクロエレクトロニクス業界で使用される薄膜デバイスの製造など、さまざまなアプリケーションに最適です。1001057には、堅牢なデュアルモード電源、高温制御モジュール、および効率的なガス供給システムが付属しています。このユニットは、拡散チャンバー、ターボポンプ装置、および統合されたオプションのサーマルイメージングパッケージを備えています。真空センサー、RF、光学制御機能も搭載しています。この拡散システムは、高精度で再現性の高い1000°Cまでの温度プロセスを提供し、一貫したガス流量と圧力で動作することができます。統合された高温制御モジュールは、優れたプロセス制御を提供するように設計されており、ユーザーは手動の流体力学的圧力モードと流体力学的圧力モードを切り替えることができます。ホットゾーン、高感度の温度センサ、赤外線サーモパイルを内蔵し、正確なプロセス監視と制御を可能にします。この機械は、ポリシリコン、ヒ素ガリウム、リン酸インジウム、炭化ケイ素など、あらゆる種類のウエハを処理することができます。GT SOLAR 1001057は200mm （8インチ）の大きい基質を処理でき、1350°Cの高温限界があります。このツールには、プログラマブルパラメータ、歴史的レシピ管理、サーマルイメージングなど、多くの高度な機能があります。RF加熱資産は、不均一性のリスクを最小限に抑えるために機能し、統合された汚染制御モデルは、一貫した効率的な操作を保証します。また、チャンバークリーナー機能は、機器が使用されている間、チャンバライナー、蓋、ゲートバルブを清潔に保ち、化学反応を排除するために含まれています。このシステムは、簡単な操作とメンテナンスのために設計されており、自動化された生産ラインや手動操作に最適です。1001057拡散炉および付属品はあらゆる生産ラインのための信頼でき、有効な選択です。その汎用性の高い操作は、ユーザーが優れた反復可能なプロセス結果を持つ基板の広い範囲を処理することができます。高温プロセス機能、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、堅牢な構造により、このユニットはあらゆるアプリケーションに理想的なオプションです。