中古 GASONICS / NOVELLUS HIPOX 6000 #293758592 を販売中

GASONICS/NOVELLUS HIPOX 6000は、半導体製造に特化した高性能で自動化された拡散炉です。それは熱拡散、酸化、アニーリング、急速な熱処理および他の関連した処理のための1200°Cまで達することができる各地帯の独立した温度調整の複数の地帯装置です。GASONICS HIPOX 6000は、直径8インチまでのウェーハに対応でき、プロセスガス配送に複数のオプションがあります。NOVELLUS HIPOX 6000には、内部洗浄シールドを内蔵したグラファイトコールドキャップが含まれています。これは、炉室内に入る粒子を減らし、すでに存在する粒子を減らすために使用できます。この炉は、バッチ処理用の手動モードまたは自動モードで動作する、中央に取り付けられたプログラム可能な2ゾーンコンベアベルトで設計されています。ベルトは、一度に最大12個のウェーハを実行することができます。また、外付けファンで急冷するためのクールダウンチャンバーのオプションも提供しています。HIPOX 6000の統合制御システムは、使いやすいタッチスクリーンインターフェイスを備えた産業用PCコアで構成されています。それは100までのレシピを貯えることができ、簡単なリコールのための32までのウェーハのロットを貯えることができます。コントロールユニットを使用すると、各ゾーンを個別に監視および調整でき、正確なプロセス制御が可能です。GASONICS/NOVELLUS HIPOX 6000は、信頼性の高い温度制御と低粒子生成能力で高性能を提供する先進炉です。その高度なデザインは、その場でクリーニング機能とカスタマイズされたレシピを実行することができます。また、実行あたり12ウェーハ容量と高速クールダウン機能を備え、高スループットを実現します。統合制御機は、正確さと自信を持ってプロセスパラメータを監視し、調整する能力をユーザーに提供します。