中古品 GASONICS / NOVELLUS (拡散炉＆付属品) を販売中

NOVELLUS Systemsの一部であるGASONICSは、拡散炉やアクセサリーの有名なメーカーです。半導体業界では、熱酸化、アニール、ドーパント拡散などのプロセスに拡散炉が不可欠です。これらの炉は、これらのプロセスが発生するために必要な正確かつ制御された条件を提供するように設計されています。GASONICS/NOVELLUSは、さまざまなモデルと仕様の拡散炉やアクセサリーを提供しています。人気のあるアナログには、HIPOX 6000、 HIPOX、 HIPOX 5025などがあります。これらのモデルは、その高度な機能と高性能機能で知られています。GASONICS/NOVELLUS拡散炉の大きな利点の1つは、その優れた温度制御であり、精密なプロセス再現性を実現します。また、ウェーハ全体の温度分布とガス流量の両方において優れた均一性を発揮し、加工ウェーハの一貫した品質を保証します。もう1つの利点は、操作者が簡単に拡散プロセスパラメータをプログラムして監視できるユーザーフレンドリーなインターフェースと制御システムです。これにより、全体的な生産性が向上し、エラーが軽減されます。GASONICS/NOVELLUS拡散炉を使用したアプリケーションの例としては、シリコンウェーハ上に二酸化ケイ素の薄層を作成するための熱酸化、ウェーハの電気特性を修復または変更するアニーリング、ウェーハ表面に不純物を導入するためのドーパント拡散などがあります。全体として、GASONICS/NOVELLUS拡散炉および関連アクセサリーは、精度、信頼性、柔軟性で有名であり、半導体業界で人気のある選択肢となっています。