中古 ASM UHV-A600 #9144030 を販売中

ASM UHV-A600拡散炉は、高出力、超高真空不活性ガス用途向けに設計されています。この炉は、優れたエッチング能力と精密な表面処理を備えた先端材料を開発するための高性能、汎用性、信頼性の高いツールです。この拡散炉は1400°Cまで温度を提供できる高速ベルト主導のホットゾーンヒーターと設計されています。ホットゾーンはクォーツチャンバーに囲まれており、M63ネジで保護されたポストロード環境に簡単にアクセスできます。このポストロード環境は、チャンバー全体にわたって一貫した均一な温度分布を確保するのに役立ち、炉が拡散プロファイルの優れた均一性を達成することができます。石英チャンバーは、外部の空気からの汚染を防ぐのにも役立ちます。この炉には強力な8。5 kWのRF発電機とホットゾーン発振器が装備されており、炉の全身を均一に加熱することができます。直感的なタッチスクリーンインターフェイスは、炉のセットアップと制御を通じてオペレータを導きます。制御装置には、リアルタイムのデータロギングシステムと、分析のためのデータをコンピュータにエクスポートする機能も含まれています。UHV-A600拡散炉には、高度な不活性ガス制御システムも備えています。炉は多数のプロセス適用のためにアルゴン、窒素、または他の反応性ガスを使用するように形成することができます。これには、目標材料の均一な拡散を確保するために、加熱ガスの流量、圧力、流量制御を調整することが含まれます。ユーザーはまた、数分以内に炉の温度プロファイルを所望のパラメータに調整することができます。ASM UHV-A600拡散炉は、その効率と柔軟性を最大限に高めるために、さまざまなアクセサリーを備えています。ガス分布マニホールド、再循環ポンプ、5ポートバルブとフィルター、エアゲージ、ベントユニットなどがあります。ガス多様体は炉へのガスの均一な供給を保障し、強力なモーターによって高出力の適用を支えるために動力を与えられます。再循環ポンプは炉の中でガスを循環させ、ホットゾーン内で均一な温度分布を提供します。最後に、ベントマシンはホットゾーンからガスを排出し、炉の中で高い清浄度を維持するのに役立ちます。このトップラインの拡散炉は、ユーザーに優れた性能と信頼性を提供し、幅広い用途に最適なソリューションです。高度な加熱機能と不活性ガス制御システムを備えたUHV-A600拡散炉は、高度な製造プロセスの要求を満たすための完璧なソリューションです。