中古品 ASM (拡散炉＆付属品) を販売中

この拡散炉は、シリコンウェーハの熱処理に使用される半導体製造プロセスにおいて重要な部品であり、さまざまな薄膜層を作成します。ASMは拡散炉の一流の製造業者であり、これらの炉の性能そして効率を高めるために良質の付属品の範囲を提供します。ASMの普及した拡散炉モデルの1つは、優れたプロセス結果を得るための正確な温度制御と均一性を提供するA 412です。その信頼性と使いやすさで知られています。別のモデル、A 400は、さまざまなウエハサイズと処理要件に対応できるため、その汎用性で有名です。ASMはまた、高速加熱と冷却機能と優れたプロセス制御を組み合わせた高度な熱反応器であるMIR 3000も提供しています。このモデルはアニーリング、沈着および酸化プロセスのために広く利用されています。ASM拡散炉の主な利点の1つは、一貫した信頼性の高いプロセス結果を保証する優れた温度均一性です。これらの炉はまた、高いスループットで知られており、効率的な生産と迅速な納期を可能にします。ASMは、温度コントローラ、ガス供給システム、ウェーハキャリア、プロセス監視ツールなど、拡散炉にさまざまなアクセサリを提供しています。これらのアクセサリは、拡散炉の性能を最適化し、熱処理を正確に制御するのに役立ちます。全体として、ASM拡散炉とその付属品は、信頼性、汎用性、および優れたプロセス結果で半導体業界で高く評価されています。