中古 ASM MIR 3000 #9358637 を販売中

ASM MIR 3000は、ASM Internationalが半導体製造プロセスで使用するために設計した拡散炉および関連アクセサリーです。このシステムは、単一のチャンバー炉とコントローラ、ガスミキサー、バルブ、ガス継手、マニホールドおよび配管、熱電対、および温度ゲージ/コントローラで構成されています。MIR 3000の主要な部屋はステンレス鋼からなされ、グラファイトのサセプターが装備されている縦シリンダーです。サセプターは処理中にウェーハを保持し、表面に均等に熱を分配するように設計されています。炉の部屋の内部はまた断熱材を保障するためにグラファイトの毛布と並べられます。加熱素子はサセプターの下に配置され、PLC （Programmable Logic Controller）を介してチャンバーの温度を制御します。加熱素子は、炉室内で均一な温度を生成します。ガス混合物は、ガスミキサー、バルブ、ガス継手、マニホールドおよび配管を介してチャンバーに供給されます。ガスの流れはマスフローコントローラによって調整され、ガスの組成を正確に制御できます。ガス混合物は、多様体と配管に接続されているいくつかのガス入口を介してチャンバーに導入されます。温度は熱電対および温度計/コントローラーを使用して監視され、制御されます。熱電対はチャンバーに挿入され、チャンバー全体の温度レベルを検出します。温度ゲージ/コントローラを使用して、チャンバーの温度範囲を設定および調整します。ASM MIR 3000は、熱酸化、窒化、酸化物成分、導体ドーピングなどの幅広い拡散プロセスに適しています。このシステムは、正確な温度制御、チャンバー全体の均一な温度プロファイル、および理想的な拡散条件のための正確なガス混合を提供します。システムはプログラムしやすく、非常に安全で信頼性が高く、幅広い用途に使用できます。