中古 ASM MIR 3000 #9351346 を販売中

ASM MIR 3000
製造業者
ASM
モデル
MIR 3000
ID: 9351346
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2013
CVD Furnace, 12" 2013 vintage.
ASM MIR 3000は、複数の産業の熱処理のニーズを満たすことができる耐久性と高度な炉ソリューションを提供するように設計された拡散炉および付属機器です。MIR 3000システムは、光電子デバイスの製造、CMPベンチマーク、高度なデバイスのパッケージング、薄膜沈着、エピタキシャル成長など、幅広い用途に適しています。拡散炉と付属のアクセサリには、完全に自動化されたプロセスコントローラが付属しており、各製造プロセスが確実に軌道に乗っています。プロセスコントローラは最大4つの独立したプロセスを最大8つの変数で制御することができ、複数の産業アプリケーションに対応する汎用性の高いツールです。このユニットには、高容量で信頼性の高い電気機械が搭載されており、過熱保護、過圧リリーフバルブ、パワーフェイル安全などの幅広い安全機能が搭載されています。さらに、炉と付属のアクセサリツールは、UL、 CSA、 NFPA 79など、最も困難な業界の安全承認を満たしています。ASM MIR 3000アセットは、高度な熱処理プロセス制御オプション、高度な制御ソフトウェアパッケージ、およびチャンバー全体に熱エネルギーの拡散を加速するフラットプレート設計を備えています。さらに、このモデルは、チャンバー全体に均一な熱の分布を保証する高度な熱層プロファイリング装置を誇っています。このチャンバーは、高スループット動作のために使いやすい連続ベルト設計を備えています。オプションのデジタルベルト駆動システムを使用してベルト速度を正確に制御し、温度が一定に保たれるようにします。さらに、ユニットには、長いクールダウン時間を排除する高度なチャンバー冷却技術が付属しています。全体的に、MIR 3000拡散炉とアクセサリ機械は、多数の熱処理アプリケーションに対応する強力で信頼性の高いツールです。高度なプロセスコントローラ、強化された安全機能、高度な熱処理ツールにより、堅牢で信頼性の高い熱処理ソリューションをユーザーに提供します。
まだレビューはありません