中古 ASM MIR 3000 #9262042 を販売中

ASM MIR 3000
製造業者
ASM
モデル
MIR 3000
ID: 9262042
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2013
CVD Furnace, 12" 2013 vintage.
ASM MIR 3000は、商業、研究、および産業用途に対応するように設計された高度な拡散炉およびアクセサリ機器です。プロセス効率を最適化し、一貫した温度均一性を実現するための包括的な機能を提供します。特許出願中の加熱および冷却技術により、MIR 3000は、はんだ付けやその他の拡散プロセスに優れた性能を提供し、正確な温度制御を必要とします。ASM MIR 3000は、炉システムを補完するアクセサリーの範囲が付属しています。パルスバルブ洗浄/パージングシステム、炉ライナー、後加熱焼入れシステム、不活性ガスシステム、不活性ガスタンクなどがあります。すべての付属品は最高のプロセス制御、一貫した温度の安定性および長期部品の安全を提供するように設計されています。工程効率を高めるために、MIR 3000ユニットは、さまざまな高度なメカニズムとパラメータを備えています。これらには、一貫した加熱と冷却を実現するブラシレスDCファンモータ、プロセス温度を調整するAutoFlow PIDコントローラ、およびリアルタイムで精密な温度フィードバックを提供するためのドアマウント熱電対が含まれます。さらに、プロセスを監視し、それに応じて不活性ガスの流れを調整する安全過熱ツールが装備されており、必要に応じて自動的にアセットをシャッタリングします。ASM MIR 3000のコンパクト設計は、コスト効率と省エネを実現します。その密閉された部屋は11の地帯の絶縁材モデルを特色にし、均一な温度および有効なエネルギー使用を保障します。さらに、この装置は、エネルギーコストを削減し、さらに大きなプロセス効率を提供するために、高効率の空気圧対流ヒーティングシステムで設計されています。全体的に、MIR 3000拡散炉とアクセサリーユニットは、比類のない効率と精度を提供します。その先進的な機能、メカニズム、パラメータはすべて一貫した温度均一性、制御可能なプロセスフロー、および最大のコスト効率を提供するために協力します。したがって、機械は業界で最も厳格な基準を満たしているだけでなく、すべてを超えています。
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