中古 ASM MIR 3000 #9261811 を販売中

ASM MIR 3000
製造業者
ASM
モデル
MIR 3000
ID: 9261811
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2013
CVD Furnace, 12" 2013 vintage.
ASM MIR 3000は、さまざまな材料を処理するために使用される拡散プロセス用の専用炉です。これは、さまざまな拡散関連プロセスのための最適化された環境を作成するために使用されるいくつかのコンポーネントで構成されています。拡散チャンバーを収容する主な部品は、モジュラー方式で構築された堅牢で耐腐食性のステンレス製の構造から作られています。これにより、任意の拡散プロセスに合わせてカスタマイズできる多くのカスタマイズされた構成が可能になります。チャンバーは、拡散プロセスで発生する可能性のある重要な温度に到達することなく、拡散プロセスが続くことを保証する特別な低速空気流で加熱および冷却されます。これにより、処理されている材料の品質に影響を与えることなく、拡散プロセスを行うことができます。チャンバーは、任意の拡散プロセスに必要な条件を提供するためにプログラムすることができるいくつかの調整可能な温度を含むように設計されています。これにより、パラメータを一定に調整する必要なくプロセスを実行できます。MIR 3000には、炉コントローラや高性能真空ポンプなど、拡散チャンバー用のさまざまなアクセサリーも含まれています。高性能の真空ポンプは機械に全体の拡散プロセス上の圧力そして温度の均等性を維持する機能を与えます。これは、処理される材料が一貫して処理されることを保証するのに役立ちます。コントローラはコンピュータベースのシステムで、拡散プロセスに関連する温度、真空およびその他のパラメータを完全に制御できます。これにより、ユーザーは特定の拡散プロセスのパラメータを調整し、プロセス全体に精度と精度を与えることができます。ASM MIR 3000はまた、すべての部分を簡単に分解して再び組み立てることができるため、簡単なメンテナンスを可能にします。これにより、新しい部品や部品を注文することなく、システムの修理とサービスが簡単になります。要約すると、MIR 3000は、さまざまな拡散関連プロセスに最適化された環境を作成するために設計されたいくつかのカスタマイズ可能な機能を備えた専用拡散炉です。低速気流加熱・冷却、調節可能な温度、炉コントローラ、高性能真空ポンプを備え、精度と精度を維持します。すべての部品は安全に構築されており、必要に応じて簡単に分解して修理することができます。
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