中古 ASM MIR 3000 #9259685 を販売中

ASM MIR 3000
製造業者
ASM
モデル
MIR 3000
ID: 9259685
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
CVD Furnace, 12" Chamber 2010 vintage.
ASM MIR 3000は、赤外線(IR)放射加熱技術を使用して、拡散プロセスのすべての段階を通じて金属を加熱し、均質化する拡散炉およびアクセサリです。これは、自動車、医療、航空宇宙、電子産業での使用のために設計されています。MIR 3000は、プロセス全体で正確な温度制御を保証するクローズドサイクル窒素流量システムを使用しています。熱された窒素の流れは最適熱効率のために均等に配られる金属のサンプルおよび全体の部屋のまわりで循環されます。窒素の流れはサンプルから熱を離れた保ち、均質な拡散のためにより一貫した温度を維持します。ASM MIR 3000には、プロセスを自動化し、プロセスの再現性を確保するためのPLC技術も組み込まれています。そのコントローラは、高速サンプリング間隔を持つデータ収集システムを使用して、正確な温度制御、ランピング、およびドウェル時間を可能にします。また、オペレータインターフェイスを介してリアルタイムでプロセスに関するフィードバックを提供します。単位の酸化の部屋は物質的なサンプルの損失の量を減らします。これは、水素の最適な雰囲気を維持し、保護と均質な環境を提供しながら、チャンバーを形成酸素を除去します。これにより、粉塵や汚染のないスムーズな拡散が可能です。MIR 3000は、安全性を最大化するように設計された堅牢でメンテナンスが容易な設計を特徴としています。拡散プロセスを介してロックされたままの安全蓋を利用し、排気システムを装備しています。ASM MIR 3000は、500から1400Cまでのプロセス温度範囲を提供し、1時間あたり最大45ポンドまで拡散することができます。チルダウンプレート、ローディングとアンローディングトング、熱電対測定装置、タングステンカーバイドプッシャーなど、さまざまなアクセサリーでも利用できます。MIR 3000は信頼性が高く、堅牢な拡散炉で、さまざまな金属を複数の産業に拡散させるのに適しています。精密な温度制御、酸化チャンバ、PLCコントローラ、自動化プロセスにより、ASM MIR 3000は拡散プロセスを最大限に効率化するのに役立ちます。
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