中古 ASM MIR 3000 #9259684 を販売中
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ID: 9259684
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
CVD Furnace, 12"
Dual chambers
EFEM
XP Platform
2011 vintage.
ASM MIR 3000は、研究および製造プロセス向けに設計された高温真空拡散炉およびイメージング装置です。Si集積回路加工やパッケージデバイス、高温酸化、蒸着、サーマルアニーリング、ドーパント活性化など幅広い用途に使用されています。MIR 3000は、ラボおよび産業用アプリケーションに適した堅牢で自動化されたシステムで、使いやすいグラフィカルインターフェイスを備えています。ASM MIR 3000は、汎用性の高い実行環境を備えたデュアルウェーハ機能を備えているため、ユーザーは個別のプロセスレシピをロードし、強制冷却セグメントを正確に温度制御して制御することができます。それに1650ºCまで及ぶことができる熱い地帯の温度の均質性を監視するためにサーモパイルおよび付加的な冷壁管があります。ガスの流れは最適な均一性を得るために正確に調節することができ、ホットゾーン蓋の可変的な位置決めはさまざまなプロセスのための精密な圧力制御を提供します。MIR 3000はまた、Eビームとウェハカセット、複数のパーティクル検出器、内蔵ウェハステージ、周波数ベースのウェハオリエンテーションを備えた高解像度イメージングユニットを備えています。また、オンデマンドウェーハの注文、リアルタイムプロセスの監視と制御、レシピ作成など、フルスイートの自動化機能も備えています。ASM MIR 3000はメンテナンスと保守性を容易にするように設計されています。部品交換が容易なモジュラー設計で、効率的な冷却機により温度変動によるダウンタイムを低減します。MIR 3000には、オペレータ制御ホットゾーンドーパントの活性化や自動圧力および温度制御など、多くの安全機能があります。最大のプロセス継続性と再現性を確保するために、ASM MIR 3000は継続的に監視および調整され、過剰祈願またはガス排出残留物の蓄積を防止します。その統合された真空インターロックツールは、フェイルセーフ動作を提供し、その監視システムは、予期しないプロセスの誤動作を警告します。全体として、MIR 3000は多様な生産および研究アプリケーションに対応する汎用性と強力な資産です。それは非常に自動化されたプロセスおよび温度、圧力および流れの精密な制御と信頼できる、信頼できる性能を、提供するように設計されています。モデルのさまざまなコンポーネントはユーザーフレンドリーで、生産環境で他のコンポーネントと簡単に統合でき、ユーザーは最大の歩留まりでプロセスの均一性を達成できます。
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