中古 ASM MIR 3000 #9235099 を販売中

ASM MIR 3000は、Czochralski （Cz）法を用いた単結晶シリコンインゴットの製造に特化した、先駆的な低温拡散炉です。それは速い冷却機能および洗練された制御論理の革新的な、省エネの誘導加熱システムを特色にします。それは優秀なプロセス安定性および性能およびより均一な製品品質を提供するように設計されています。MIR 3000には、簡単なセットアップ、操作、メンテナンスのために設計されたユーザーフレンドリーなインターフェイスが含まれています。また、プロセス内のモニタリングと分析により、一貫した、明確に定義された再現性のあるプロセスを自動操作できます。その4つのモニタリングおよびプロセス制御システムは、詳細な統計的プロセス制御を提供し、特性の変化が少なく、結果の均一性を保証します。ASM MIR 3000は最大2,000°Cの動作温度を有し、その加熱源は1,800〜2,000°Cの範囲で効率的かつ均一な加熱を可能にする三相モータ発電機です。また、80°C/分までの強制アリレーション冷却から、23°C/分までの冷却速度で水冷却まで、幅広い冷却オプションがあります。その高速冷却機能は、インゴットの結晶化と分離を回避するのに役立ちます。MIR 3000には、石英ヒーター、インダクタコイル、完全温度およびアンペア制御システムなどの追加のサポート機器が装備されています。高度なプロセス制御により、プロセス時間、ホールド時間、加熱速度などの重要なパラメータを簡単に設定および調整し、高品質の製品を保証します。そのソフトウェアは、詳細なプロセス管理データを提供し、マルチステッププログラミングと実行を可能にします。全体として、ASM MIR 3000は単結晶シリコンインゴットを製造するための理想的な拡散炉です。その優れたプロセス安定性、高速冷却能力、効率的な制御システムにより、信頼性と費用対効果の高い生産装置となります。それは研究および産業大量生産の使用のために適しています。