中古 ASM MIR 3000 #9228941 を販売中

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ASM MIR 3000
販売された
製造業者
ASM
モデル
MIR 3000
ID: 9228941
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
CVD System, 12" 2011 vintage.
ASM MIR 3000は酸化物および窒化物の成長を含むさまざまなプロセスのために設計されている拡散炉および付属品です。それは信頼でき、経済的な暖房の技術、非常に正確な温度調整および高度のガス制御システムが装備されています。MIR 3000はまた、労働者と機器の両方を保護するための多くの安全システムを組み込んでいます。ASM MIR 3000は、一貫した処理結果を保証するために最大の熱均一性を提供するように設計されたトップローディングハースを備えています。また、最大1500°Cの加熱が可能な2つの独立した加熱ゾーンを備えており、必要に応じて各ゾーンに異なる温度を設定できます。温度制御の面では、MIR 3000は20段階のプログラム可能な加熱プロファイルと高度な急速熱処理技術を提供しています。これは、急速なサーマルサイクルで秒または分で最大1600°Cの温度レベルに達することができます。この炉には、高度なガス制御システムと、蒸発によるガス透過性と損失を低減する多層ガスタイト表面も含まれています。追加の安全性のために、ASM MIR 3000にはいくつかの冗長真空インターロックがあります。また、赤外線およびピロメーターシステムが人的ミスを監視し、防止するのに役立ちます。MIR 3000は、多くの材料と組み合わせて、最適な結果を得るためのプロセスパッケージを形成することができます。このアプローチは、アーキテクチャに基づいたプロセス設計と呼ばれ、オペレータはパラメータを微調整し、アプリケーションに応じてプロセスをカスタマイズすることができます。ASM MIR 3000は、炉の動作を簡素化し、プロセス結果を最適化するために設計されたさまざまなコンピュータ支援プロセス制御(CPC)ソフトウェアプログラムとも互換性があります。これには、プリプログラミング、マルチゾーン制御、プロセス監視、データロギングなどの幅広い機能が含まれます。結論として、MIR 3000は、さまざまなプロセス用に設計された高品質で汎用性の高い拡散炉とアクセサリーです。それは信頼でき、経済的な暖房の技術、精密な温度調整、高度のガス制御システムおよび建築ベースのプロセス設計を提供します。CPCソフトウェアサポートは、ユーザーのエラーを最小限に抑え、拡散プロセス中の効率を最大化するのにも役立ちます。
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