中古 ASM MIR 3000 #9228362 を販売中

ASM MIR 3000
製造業者
ASM
モデル
MIR 3000
ID: 9228362
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
Furnace, 12" 2010 vintage.
ASM MIR 3000は、高温用途に最適な拡散炉およびアクセサリ機器です。安全で制御された環境で効率的な生産プロセスを作成するように設計されており、モジュール設計により、さまざまなアプリケーションに対応する汎用性の高いツールとなっています。システムの主な構成要素は、垂直に挿入された拡散炉、熱蒸発器、およびサセプターのサポートです。炉は非磁性材料で作られており、石英管、エンドキャップブール、およびそれぞれのシールが含まれています。この炉にはフィードスルーが内蔵されており、材料や工具を積み降ろしするための処理室への容易なアクセスを可能にします。熱蒸発器は、耐熱性に優れたアルミナセラミックチューブで構成されています。内部の熱電対は温度を正確に監視するために統合されます。サポート構造は、個々のアプリケーションに合わせて調整できるサポート付きのスチールシャーシで構成されています。拡散炉の反応室は、一度に複数の部品を収容するのに十分な大きさです。材料を高温に均一に加熱する電子ビームヒーターを備えています。チャンバーは加圧され、グラファイト絶縁材が加熱プロセスを容易にするために使用されます。このユニットには調整可能なトーチも含まれており、さまざまな用途でW-T比を調整することができます。安全で制御された拡散処理を確実にするために、チャンバーは外部に排気され、調整可能なエアフロースイッチが装備されています。機械は安全で、有効な操作を保障する高度の安全および監視機能が装備されています。温度制御用の複数の熱電対と、精密な材料分析用の分光計を備えています。材料の積み下ろしは、反応チャンバから分離された伝達メカニズムで、統合フィードスルーを介して行われます。さらに、サセプターには位置制御ツールが装備されており、高温や振動の可能性があるにもかかわらず適切な位置に保たれます。MIR 3000は、商業および産業用途向けに設計されており、高温プロセスの研究開発にも使用されています。モジュラー設計により、アセットを個々のニーズに合わせてカスタマイズできます。堅牢な構造と効率的な操作により、ASM MIR 3000は高温アプリケーション向けの信頼性と信頼性の高いソリューションです。
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