中古 ASM MIR 3000 #293639066 を販売中

ASM MIR 3000
製造業者
ASM
モデル
MIR 3000
ID: 293639066
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
CVD Furnace, 12" Chamber 2010 vintage.
ASM MIR 3000は、信頼性と費用対効果の高い処理を提供する拡散炉および付属機器です。拡散プロセスのためのクリーンな環境を提供するように設計されています。低合金・非合金鋼基板用途、金属コーティング用途に使用可能な高温不活性気候を利用しています。MIR 3000は、処理中に一貫した出力と均一な温度を確保するように設計された高度で高精度な電源を備えています。温度制御と精度により、希望の温度に簡単に調整でき、最適な効率を維持できます。また、高速で高精度なコンピュータ制御センサーを搭載しており、障害を正確に検出し、トラブルシューティングし、問題を報告してすぐに解決できます。ASM MIR 3000は、最大限の柔軟性と使いやすさを目指して設計されています。プロセスサイクルプロファイリングやアラーム設定など、幅広い操作モードと高度な制御オプションを提供しています。また、熱分析と監視が付属しており、炉のさまざまな部分の温度の均一性と正確な温度追跡を保証します。単位に処理が完了した後急速で、安全な停止を保障する強力な冷却装置があります。それはまた拡散プロセスの間に基質が安全に握られるように保護棚を含んでいます。この炉は、緊急停止機能、電気機械的プロセス・インターロック、および温度と掃除プロセスを監視するクローズド・ループ・ツールを備えた安全性を念頭に置いて設計されています。MIR 3000には、フランジやセンサー、熱電対、継手、アダプターなどの包括的なアクセサリーが付属しています。ASM MIR 3000は、安全性と信頼性を兼ね備えた高精度拡散処理を提供できる高度な拡散炉です。それは合金および非合金の鋼鉄基質のために使いやすく、現実的、非常に有効です。
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