中古 ASM MIR 3000 #293639064 を販売中

ASM MIR 3000は、厚さ3インチまでの薄型基板と厚型基板の両方を迅速かつ均一に加熱するように特別に設計された最先端の拡散炉です。この耐久性と堅牢性に優れた装置は、2,000°Cまでの温度処理が可能で、金属エッチング、酸化物成長、ドーパント活性化アプリケーションに最適です。MIR 3000は、エッチング工程全体にわたって正確かつ一貫した電力供給を可能にするインライン電源制御システムを備えています。これにより、均一な加熱、均一なエッチング速度、および反復可能な結果が保証されます。また、強力な強制ファン循環機を搭載し、反応チャンバーを連続的に循環・排出し、炭素拡散とより高い熱質量負荷の影響を排除します。この炉の先進的な設計により、大型構造物の均一な加熱が可能になり、効率的なヘリカル抵抗炉コイルは均一な伝導と信頼性の高い動作を保証します。炉心コイルは自己支持構造に収納されており、炉に大きな基板を積み込むとハングオフまたは余分な重量が排除されます。ASM MIR 3000は、プログラマブルデジタルディスプレイ、メモリ機能を備えたユーザーフレンドリーなプログラマブル中央処理ユニット、および便利なプロセス管理のための簡単操作ソフトウェアなどの便利な機能を提供します。また、安全性を確保し、緊急停止や放射線監視機能を内蔵するなど、潜在的な事故を回避するための多くの安全機能を備えています。MIR 3000は、化学蒸着（CVD）、急速熱処理（RTP）、エッチング、ベータテストなど、産業プロセスや各種試験ラボ向けの強力で信頼性の高いツールです。温度範囲のため、ASM MIR 3000は様々なアニーリング用途でも使用できます。全体的に、MIR 3000は、厚さ3インチまでの基板を一貫して確実に処理できる、汎用性の高い拡散炉です。この堅牢な拡散炉は、忙しい産業および実験室のニーズに理想的な選択肢であり、コスト削減と効率的な運用を提供します。