中古 ASM MIR 3000 #293615954 を販売中

ASM MIR 3000は、複雑な堆積および加工作業の優れた性能と高度な制御のために設計された拡散炉です。この炉は、高精度で再現性のあるハイエンドデバイスの生産を可能にする完全に制御された加熱プロファイルとともに、急速な加熱と冷却を提供します。MIR 3000は、単一のヒーターチャンバーを介して完全な温度制御を提供するユニークなデュアルチャンバー機器を利用したエネルギー効率の高い設計を持っています。このデュアルチャンバーシステムは、高精度の熱、真空、およびプロセス制御を組み込んだ中央制御チャンバーを備えた2つの大きなアニーリングゾーンで構成されています。この設計は、炉室内のすべての領域で均質な温度分布を確保するのに役立ちます。ASM MIR 3000は高度な2ゾーン拡散加熱プロファイルを採用しているため、蒸着プロセスの加熱および冷却期間をより正確に調節することができます。その結果、より大きな表面で均一で再現性のある膜厚を実現し、優れた性能を発揮します。このユニットは3100°Cまで温度に達することができ、幅広い先端材料における高温アプリケーションを可能にします。炉は最高のユーザーの保護を保証するために安全特徴の範囲と設計されています。箱の形をした絶縁材の設計は熱損失を減らすことを助けるが、統合された保護機械は操作の間に部屋が開けられないことを保障します。自動エンドオブサイクルヒートシャットオフ機能により、チャンバーが過熱しないことをさらに保証します。MIR 3000には自動プロセス制御ツールが含まれており、繰り返し可能な加熱プロファイルを素早く簡単にプログラムできます。直感的なControl Centerソフトウェアを使用すると、温度、時間、圧力、ガス使用量、およびその他のプロセス関連情報などのパラメータを簡単に設定できます。このソフトウェアは、ユーザーがリアルタイムでプロセス関連のデータを監視および管理できるように、強力な可視化機能も提供します。全体的に、ASM MIR 3000は、優れた性能と正確な温度制御を提供する、高度なデバイス生産のための理想的なツールです。この拡散炉は、高度な熱分散能力、信頼性の高い温度調節、直感的な制御システムを備えており、高精度のハイエンド機器を製造するための強力なツールです。