中古 ASM Advance 300 VT #9206104 を販売中
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ID: 9206104
Vertical LPCVD furnace
Process: Oxide
CIM
Hardware configuration:
Main system:
Main body (Carrier stage)
Utility box
Handler system:
Wafer handing robot
Boat elevator
Cassette loader
Configuration:
Safety specification: ASM Standard
System layout type: U/Box type (I)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: Temp wire
Torch heater
Process gasses:
Process gas 1 / N2 (30SLM)
Process gas 2 / O2 (20SLM)
Process gas 3 / HCL
Process gas 4 / N2O
Process gas 5 / H2O
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Electro-polished
Manual & air-operated valve: Nupro
MFC Unit
Wafer / Cassette handling:
SEMI STD-Notch, 8"
Cassette type: Entergris / 704-503T2
Cassette number of wafers: 25
Cassette storage: 16
Fork type / Material
Fork variable pitch
Boat / Pedestal: 2 Boat
(150) Production wafers
Boat rotation not installed
System control:
System controller: IBM 486 OS2
Torch controller: H2O Separate element Pre burner
Signal tower colors: G / A / B
General pressure display unit: Pressure PSI
Cabinet exhaust display unit: H20
ASM Furnace temp controller:
Host communication
Host communication: User host computer
User host computer I/F: SECS I / II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
Group controller: HIA
Facility electrical equipment power input (2 Lines):
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Voltage: 120 VAC, 1 Phase
UPS Input / Output voltage: 120V / 100V
1997 vintage.
ASM Advance 300 VTは、金属処理に信頼性の高い高精度な雰囲気を提供するように設計された次世代拡散炉です。幅広いアクセサリーを搭載しており、硬化、焼戻し、アニール、コーティング、浸炭など様々な工程を行うことができます。炉は頑丈なステンレス鋼から組み立てられ、長寿および信頼性のための堅牢な設計があります。それは最高の精度を保障するために別の拡散の部屋が装備されています。使いやすいタッチスクリーンコントロールも付属しており、正確な温度と大気の制御を可能にします。100リットルのアクティブなボリュームで、アドバンス300 VTは最大1 350°C （2 460°F）を加熱でき、25°C （77°F）と1 350°C （2 460°F）の間の任意の温度に調整することができます。それはまた強力な発熱体および水冷システムを特色にし、急速な、制御された熱サイクルを保障します。アクセサリーの面では、ASM Advance 300 VTには、ニーズに合わせてカスタマイズできる多くの機能が装備されています。スクエアバージョンとラウンドバージョンを含む、るつぼの治療のためのるつぼの構成の範囲が付属しています。また、運転中にガス中の酸素濃度を検出し、それに応じて調整することができます切替可能な酸素プローブが含まれています。その他のオプションのアクセサリーには、ステンレスフィルターユニット、温度センサー、クーラントフローメーター、硬化、焼戻し、アニール用のマルチコラムトレイ、るつぼ用の特殊ピロメーター、および非酸化材料を処理するための真空システムがあります。アドバンス300 VTは、その精度と性能で評価される強力な拡散炉です。豊富なアクセサリーを取り揃え、金属加工にも優れた工具です。それは専門および産業適用の範囲のために完全、信頼できる結果および長期性能を提供します。
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