中古 ASM Advance 300 VT #9206101 を販売中
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ID: 9206101
ヴィンテージ: 1997
Vertical LPCVD furnace
Process: Oxide
CIM
Main system:
Main body (Carrier stage)
Utility box
Handler system:
Wafer handing robot
Boat elevator
Cassette loader
General configuration:
System layout type: U/Box type(I)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: Temp wire
Torch heater
Process gasses:
Gas 1 / N2(30SLM)
Gas 2 / O2(20SLM)
Gas 3 / HCL
Gas 4 / N2O
Gas 5 / H2O
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Nupro
MFC Unit
Wafer/Cassette handling:
Wafer type: 8" SEMI STD-Notch
Cassette type: Entergris/704-503T2
(25) Cassette wafers
(16) Cassette storage
Fork type/Material
Boat / Pedestal:
(150) Production wafers
Does not include boat rotation
System controls:
System controller: IBM 486 OS2
Torch controller: H2O Separate element pre burner
Signal tower colors: G/A/B
General pressure display units: Pressure PSI
Cabinet exhaust display units: H2O
ASM Furnace temp controller
Host communications:
Host communications: User host computer
User host computer I/F: SECS I/II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
HIA Group controller
Power input:
Voltage: 3-Phase, 208VAC
Voltage: 1-Phase, 120VAC
UPS Input / Output voltage: 120V/100V
1997 vintage.
ASM Advance 300 VTは、ASM Internationalによって製造された拡散炉およびアクセサリーシステムです。半導体の研究・製造、MEMSの研究・製造、太陽電池の生産において、幅広い用途に適した部品を組み込んだモジュラー、包括的なエッチング・蒸着システムを目指して設計されています。Advanced 300 VTには、拡散炉の運転を成功させるための重要な機能がいくつかあります。真空拡散炉、単段低圧プロセスチャンバー、温度制御用のピロメータおよび熱電対、抵抗加熱型サセプターを備えています。この炉には、ガス排気制御用の独自に制御されたピロメーターも含まれています。この炉は、暖房および冷却サイクルでの電力消費が少ないため、超低エネルギー消費があり、全体的なコストを削減するのに役立ちます。プロセスをより正確に制御するために、Advanced 300 VTには、温度変化速度を制御するためのデジタルVarian 801ソースと、プロセスパラメータをリアルタイムに制御するためのオンボードマイクロプロセッサが含まれています。マイクロプロセッサは、拡散炉のパラメータを簡単に調整するために、グラフィカルユーザーインターフェイスまたはプログラマブルロジックコントローラ（PLC）と組み合わせて使用されます。この炉は、基板アライメントと温度プロファイルの両方を制御するためのOn-Waferスキャナなど、他の機器とシームレスに統合されています。また、自動温度制御やフロー制御など、完全な均一性を確保するための多くの手動および自動化された手順があります。Advanced 300 VTは、高速で高精度なプロセスサイクルも誇り、より高いスループットを実現します。自動化されたプロファイル制御によりプロセス時間を短縮でき、プロセスパラメータを必要に応じて変更することができます。真空チャンバーはまた、効率的な最適拡散のための一定の温度を提供し、破片がチャンバーに入るのを防ぎ、損傷を引き起こすことを防ぐためにサセプタチャックを含んでいます。Advanced 300 VTは、安全レベル1およびレベル2の安全機能と、ユーザーが通常の操作中に熱放射や過度の温度から保護されるようにする特別な設計も設計されています。Advanced 300-VTは、正確で繰り返し可能なプロセスサイクルを提供し、ユーザーが生産性と信頼性を向上させることができます。汎用性、効率的な操作性、優れた拡張性により、研究および製造アプリケーションに最適です。
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