中古 ASM Advance 300 VT #9206100 を販売中
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ID: 9206100
ヴィンテージ: 1997
Vertical LPCVD furnace
Process: Oxide
CIM
Hardware configuration:
Main system:
Main body (Carrier stage)
Utility box
Handler system:
Wafer handing robot
Boat elevator
Cassette loader
Configuration:
Safety specification: ASM Standard
System layout type: U/Box type (I)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: Temp wire
Torch heater
Process gasses:
Process gas 1 / N2 (30SLM)
Process gas 2 / O2 (20SLM)
Process gas 3 / HCL
Process gas 4 / N2O
Process gas 5 / H2O
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Electro-polished
Manual & air-operated valve: Nupro
MFC Unit
Wafer / Cassette handling:
SEMI STD-Notch, 8"
Cassette type: Entergris / 704-503T2
Cassette number of wafers: 25
Cassette storage: 16
Fork type / Material
Fork variable pitch
Boat / Pedestal: 2 Boat
(150) Production wafers
Boat rotation not installed
System control:
System controller: IBM 486 OS2
Torch controller: H2O Separate element Pre burner
Signal tower colors: G / A / B
General pressure display unit: Pressure PSI
Cabinet exhaust display unit: H20
ASM Furnace temp controller
Host communication
Host communication: User host computer
User host computer I/F: SECS I / II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
Group controller: HIA
Facility electrical equipment power input (2 Lines):
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Voltage: 120 VAC, 1 Phase
UPS Input / Output voltage: 120V / 100V
1997 vintage.
ASM Advance 300 VTは、最新のウェーハ製造プロセス向けに設計された拡散炉およびアクセサリ機器です。最先端の高温アニーリング制御を提供し、複雑な拡散プロセスに正確な均一性を提供します。Advanced 300 VTは、ユニークな垂直技術設計により均一性を高め、優れたプロセス制御と温度精度を実現する革新的な2ゾーン制御を備えています。冷たい壁およびディストリビューターの版の設計の組合せを使用して高度の冷却の制御システムは最高のスループットおよび単位の効率を保障します。このマシンには3つの熱電対スリーブと最大24の熱電対ポイントが装備されており、ウェーハ全体にわたって優れた温度検出が可能です。ASM Advance 300 VTの垂直設計により、ウェーハ全体の温度変化を排除し、重要なプロセスの高精度と再現性を確保します。この高精度ツールはまた、比類のないプロセス機能を提供し、正確な温度制御と厳しい公差を可能にします。アドバンス300 VTは、ナノ材料製造などの高度なプロセスのために、従来のウェハ製造から高温までのプロセス要件をサポートすることができます。さらに、この資産は、チャンネルやその他の複雑な機能などの複雑なデザイン機能を備えたクォーツボートのさまざまな構成に対応する柔軟性を持っています。これにより、プロセスの柔軟性を最大限に高め、生産作業の最適化に役立ちます。ASM Advance 300 VTは、高度な熱分配システムと熱制御システムにより、すべてのウェーハ位置で優れた温度均一性を維持できます。さらに、低消費電力、ロープロファイル設計、すべてのコンポーネントへの容易なアクセスなど、技術設計と製品の柔軟性の点でかなりのエンジニアリング上の利点があります。また、プロセス最適化のための低熱サイクルスイッチや、より柔軟性の高い重力ヒンジモデルなど、幅広いオプションを提供しています。全体として、Advance 300 VTは、最新のウェーハ製造プロセスのための高信頼性で精密な拡散炉とアクセサリ機器です。高度な温度制御システム、優れた均一性、および最適化された生産作業のための柔軟な設計機能を備えています。
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