中古 ASM A600 UHV-CVD #9239207 を販売中
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ID: 9239207
ヴィンテージ: 1997
CVD System
MITSUBISHI FT-3300W-W111 Turbo pump and controller
BROOKS 001-7500-05 Robot
BROOKS Controller and teaching pendant
1997 vintage.
ASM A600 UHV-CVDは材料の非常に均一な薄膜の成長を可能にする付属品が付いている拡散炉です。超高真空化学蒸着（UHV-CVD）に使用されるように特別に設計されています。このチャンバーは、金属、酸化物、窒化物および他の材料からなる薄膜の堆積にしばしば使用されます。UHV-CVD A600、全金属製のフランジ付きデザインで、室内と外部の真空環境の間に安全なシールを提供します。それは蒸気段階からの材料の昇華そして沈着を可能にする高温発熱体が装備されています。部屋は40°Cから900°Cに調節可能な温度の3つの暖房地帯を、含んでいます。さらに、チャンバーには精密な温度制御装置と、現場での監視と分析のためのアクセスを可能にするポートが含まれています。このシステムは、蒸着プロセスを直接観察するビューポートと、蒸着完了後にチャンバーをすばやく冷却するための組み込み冷却ユニットを提供します。また、蒸着プロセス中に最適な安全性を確保するために設定できる過圧、低圧、および過熱警報などの安全機能もいくつかあります。この機械は、汚染レベルを最小限に抑えるように設計されています。ガスpurq、静的ヘッドライナー、テフロンガストラップ、内部ポンピングツール、温度制御ゲッターなど、クリーンな環境を確保する多くの機能を備えています。このチャンバーには、清潔さを維持するために0。1以下の粒子を検出するためのパーティクルモニターも含まれています。チャンバーには2つのサンプルホルダーが含まれています。上部ホルダーはウェーハとスライド用、下側ホルダーはチップ、ピース、サンプル用です。それは高い等級のステンレス鋼から成り、サンプル配置のための急速な熱化そして大きい精密を提供するように設計されています。このアセットは、様々な材料の薄膜の堆積に使用することができ、それによって優れた均一性のサンプルを生成します。高度なソフトウェアと直感的なユーザーインターフェイスを備えており、堆積中のパラメータを簡単に制御および操作できます。このモデルは、マイクロエレクトロニクス、光学、材料科学などの分野の研究者にとって重要なツールです。
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