中古 ASM A600 UHV-CP #9249525 を販売中

ASM A600 UHV-CP拡散炉は、大面積の化合物半導体材料の高効率生産のために設計されています。直径6インチまでの基板を安全かつ確実に加工できるように設計されています。拡散炉は、高度な圧力制御装置を備えた600mmの長いプロセスチャンバーを備えています。チャンバーの超高真空（UHV）動作環境は、材料の迅速な窒化、拡散およびドーパントのエンコーディングを確保しながら、クリーンで低汚染レベルを保証します。動的圧力制御システムは、正確な温度制御と急速な冷却速度を可能にします。これにより、ウェーハ基板の拡散のための正確なアップ/ダウン時間を可能にし、品質を犠牲にすることなく、トータルプロセス時間を削減し、維持します。また、25kWまでの出力が可能な暖房電源や、圧縮アッシュフリーマッフル設計も備えています。燃焼ユニットは、煙などの環境汚染物質を排除しながら、材料処理のための非常にきれいな環境を提供します。マッフル設計により、急速な放熱が可能となり、冷却帯の必要がなくなります。さらに、高精度制御機を搭載し、プロセス監視と安全プログラムを総合的に提供します。このツールには、炉を既存の製造環境に簡単に統合するためのさまざまなインタフェース・モードと監視制御およびデータ収集（SCADA）が含まれています。統合された安全システムは、オペレータに包括的な安全機能を提供し、イオン化保護アセットは、プロセスチャンバー内の電気アークやスパークオーバーのリスクを排除するのに役立ちます。UHV-CP拡散炉A600、その近代化された設計と安全機能を通じて驚くべき効率を提供し、既存の生産ラインやプロセスに簡単に統合することができます。