中古 ASM A600 UHV-CP #9249519 を販売中

ASM A600 UHV-CPは、半導体製造の多様な用途向けに設計された高品質で信頼性の高い拡散炉です。このシステムは、ウェーハやその他の基材のin-situ酸化および窒化のためのPECVD型プロセスを採用しています。このユニットは、二重静電式マルチポケット噴出セル、高電流プラズマソース、および自動化された完全に構成可能なプロセス制御ハードウェア/ソフトウェアパッケージを備えた高真空プロセスチャンバーを備えています。この機械は、ウェーハの熱酸化と窒化プロセスの均一性と再現性のために特別に開発されました。このツールは、高品質のフィルムの幅広いスペクトルを生成することができ、優れた優れたステップカバレッジを持っているため、反復可能で正確で制御された製品になります。また、高品質の加熱モデル、10-8Torr基圧の超高真空構成、10E-7から10E-3Torrまでの幅広いプロセス圧力範囲を備えています。装置の良質はウェーハの表面温度、集中および安定性、プロセス時間および均一性のようなウェーハの酸化および窒化の特性の精密な制御を可能にします。このシステムには、マルチポケット、デュアル静電気注入電池、自動化されたプロセスコントローラ、温度プロセスコントローラ、高電流プラズマ源、クライオフィンガーチップ、クランプ、ガスパネルなどの付属品が装備されており、様々なプロセス実験を行うのに便利です。このユニットには、処理中に発生するガスや粒子状廃棄物を高速に排出するための高速排気ファンが含まれています。このマシンには、絶縁スイッチ（直列スロット）など、動作中の工具の安全性を確保するための多くの安全機能も含まれています。このアセットは、熱酸化、窒化、ケイ化プロセスなどのさまざまなプロセス要求に使用できるため、使用の柔軟性を促進するように設計されています。シリコンウェーハなどの基板の効率的かつ均一な熱酸化・窒化のため、幅広いウエハサイズ（5〜12インチ）に対応できます。UHV-CP装置A600、半導体ウェーハの酸化、窒化、シリシデーション、その他の高品質の電子部品および光電子部品の製造など、さまざまなプロセス用途に最適です。卓越した信頼性と互換性を備えたこの高品質のシステムは、プロのユーザーの間で非常に人気があります。