中古 ASM A600 UHV-CP #9239214 を販売中
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ASM A600 UHV-CPは、半導体基板の加工における幅広い業績のために設計された先進的な高真空拡散炉およびアクセサリーです。A600 UHV-CPは、シングルゾーンのコールドウォール加熱ターボポンプ、誘導加熱ホットウォールターボポンプ、および特許取得済みのデュアルゾーンクエンチチャンバーを使用して、高真空拡散に優れた性能を提供します。コールドウォールターボポンプは、バッチチャンバーの真空圧力を最大20リットル/分の流量で0。001 Torr未満に低減します。熱い壁のターボポンプは、統合された誘導の発熱体と、効率的に微粒子およびドーパントのバッチ部屋を低圧で掃引します。2ゾーンのクエンチチャンバーにより、拡散プロセス中にサンプルを急速にクエンチすることができます。ASM A600 UHV-CPは温度上昇、サンプル冷却および制御拡散の大気のための顧客の必要性を満たすために調節することができるプロセス制御変数の広い範囲を提供します。このシステムには、ローカルネットワーク上の拡散プロセスを監視および制御するためのリモートマシンインターフェイスと、プロセスデータを収集および表示するためのデータ収集システムも含まれています。A600 UHV-CPは、優れた結果を達成するために必要な高精度、均一性、再現性を提供する統合システムです。堅牢な設計、高度な機能、高度な監視システムの組み合わせにより、ASM A600 UHV-CPは信頼性が高く効率的な高真空拡散炉とアクセサリをお探しのユーザーにとって理想的な選択肢です。
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