中古 ASM A412 Doped Poly #9244651 を販売中

ASM A412 Doped Polyは、ドープされたポリシリコン生産用に特別に設計された高温拡散炉です。最大1475°Cの最高プロセス温度と± 3°Cの高温均一性を提供し、プロセス中の最適なトラッピングと温度制御を保証します。高度なPID （Proportional-Integral-Derivative）制御技術は、インターフェイス温度の正確な監視と制御を保証します。強力な熱管理は4。5インチまでのウェーハの速く、均一な暖房を保証し、均質なドーパントの広がりおよび改善されたアニーリングの質を提供します。装置全体のガスの流れを正確に制御する機能により、ガスがチャンバーに最適に分散され、安全で効率的なプロセスが実現されます。A412 Doped Polyには、水冷式、同軸水晶チューブ、クォーツボートローダー、プロセスウェーハローダー、ステンレススチールアニーリングチャンバー、ガス検出システムなど、さまざまなアクセサリーが装備されています。ガス検出ユニットは、アニーリングチャンバー内のガスのレベルを監視し、危険な副産物からの安全性を確保し、ウェーハローダーはステンレス鋼のアニーリングチャンバーと制御された環境の間でウェーハを安全に転送する統合コンポーネントです。さらに、水冷式水晶チューブは、熱伝導率を補償し、熱伝達を改善し、したがって全体的な処理時間を向上させるために、ガスの入口ポイントの最適な分離と冷却のために設計されています。結論として、ASM A412 Doped Polyはドープされたポリシリコン生産のために設計された高度の拡散炉であり、1475°Cまで均一な暖房を提供します。それはガス検出機械、ウェーハの積込み機、水晶ボートの積込み機および水冷却された水晶管のような特徴そして付属品と、安全な、均一および速いプロセスのためのガスの有効で、正しい流れを保障するために詰まります。A412のドープされたポリによって、ユーザーは均質なドーパントの広がりのアニーリングの良質を達成できます。